Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.

A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.

A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:

Excellent properties of TaC coating graphite

A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.

Főbb jellemzők:

●Hőmérséklet stabilitás

●Ultra magas tisztaságú

●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

●Hőanyaggal szembeni ellenállás

●Erős tapadás a grafithoz

●Konform bevonat lefedettség

● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)

Alkalmazások:

●Ostyahordozó

● Induktív fűtési szuszceptor

● Ellenállásos fűtőelem

●Műholdas lemez

●Zuhanyfej

●Vezetőgyűrű

●LED Epi vevő

●Befecskendező fúvóka

●Maszkoló gyűrű

● Hővédő pajzs

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10^-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10^-5Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem	Atom százalék
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Átlagos
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
A M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC bevonatú tokmány TaC Coating Planetary Disk
TaC bevonatú lemez TaC bevonat forgólap TaC bevonat vevő CVD TaC bevonat fedél CVD TaC bevonógyűrű TaC bevonólemez

View as

TAC bevonat forgó lemez

A Vetek Semiconductor által gyártott TAC bevonó lemez kiemelkedő TAC bevonattal büszkélkedhet, kivételes TAC bevonattal.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonólemez

A Precíziós és a tökéletességre tervezett tervezéssel a Vetek Semiconductor TAC bevonólemezét kifejezetten a szilícium -karbid (SIC) egykristály növekedési folyamatainak különféle alkalmazásaira szabják ki. A TAC bevonólemez pontos dimenziói és robusztus konstrukciója megkönnyíti a meglévő rendszerekbe történő integrálást, biztosítva a varrat nélküli kompatibilitást és a hatékony működést. Megbízható teljesítménye és kiváló minőségű bevonata hozzájárul a SIC kristálynövekedési alkalmazások következetes és egységes eredményeihez. Elkötelezettek vagyunk abban, hogy minőségi termékeket biztosítsunk versenyképes áron, és várjuk, hogy Kínában hosszú távú partnere legyen.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

CVD TAC bevonat borítója

A Vetek Semiconductor által biztosított CVD TAC bevonat borítója egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet kifejezetten igényes alkalmazásokra terveztek. Haladó tulajdonságaival és kivételes teljesítményével a CVD TAC bevonat borítónk számos kulcsfontosságú előnyt kínál. A CVD TAC bevonat borítója biztosítja a sikerhez szükséges szükséges védelmet és teljesítményt. Várakozással várjuk, hogy feltárjuk Önnel a lehetséges együttműködést!

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonó bolygószövetelő

A TAC bevonó bolygószövetség kivételes termék az Aixtron Epitaxy berendezések számára. A Vetek Semiconductor TAC bevonata kiváló magas hőmérsékleti ellenállást és kémiai tehetetlenséget biztosít. Ez az egyedülálló kombináció biztosítja a megbízható teljesítményt és a hosszú élettartamot, még az igényes környezetben is. A Vetek elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű termékeket biztosítson, és hosszú távú partnerként szolgáljon a kínai piacon versenyképes árképzéssel.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonat talapzat támogató lemez

A TAC bevonat képes ellenállni a 2200 ℃ magas hőmérsékletnek. A Vetek Semiconductor nagy tisztaságú TAC bevonatot biztosít 5pm alatti szennyeződésekkel Kínában. A TAC bevonat talapzatának tartó lemeze képes ellenállni az ammónia -hidrogénnek, az argoninnak az epitaxiális eszköz reakciókamrájában. Javítja a termék szerviz élettartamát. Ön biztosítja a követelményeket, a testreszabást biztosítjuk.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonó chuck

A Vetek Semiconductor TAC bevonó chuckja kiváló minőségű bevonattal rendelkezik, amely a kiemelkedő, magas hőmérsékletű ellenállásról és a kémiai tehetetlenségről ismert, különösen a szilícium-karbid (SIC) epitaxia (EPI) folyamatokban. Kivételes tulajdonságaival és kiváló teljesítményével a TAC Coating Chuck számos kulcsfontosságú előnyt kínál. Elkötelezettek vagyunk a minőségi termékek számára versenyképes árakon, és várjuk, hogy hosszú távú partnere Kínában legyen.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Tantál-karbid bevonat

Főbb jellemzők:

Alkalmazások:

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

TaC bevonat EDX adatok：

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

TAC bevonat forgó lemez

TAC bevonólemez

CVD TAC bevonat borítója

TAC bevonó bolygószövetelő

TAC bevonat talapzat támogató lemez

TAC bevonó chuck

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím