Termékek

Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.


A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.


A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:


Excellent properties of TaC coating graphite


A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.


Főbb jellemzők:

 ●Hőmérséklet stabilitás

 ●Ultra magas tisztaságú

 ●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

 ●Hőanyaggal szembeni ellenállás

 ●Erős tapadás a grafithoz

 ●Konform bevonat lefedettség

 Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)


Alkalmazások:

 ●Ostyahordozó

 ● Induktív fűtési szuszceptor

 ● Ellenállásos fűtőelem

 ●Műholdas lemez

 ●Zuhanyfej

 ●Vezetőgyűrű

 ●LED Epi vevő

 ●Befecskendező fúvóka

 ●Maszkoló gyűrű

 ● Hővédő pajzs


Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező 0.3
Hőtágulási együttható 6,3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1×10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
A grafit mérete megváltozik -10-20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um±10um)


TaC bevonat EDX adatok

EDX data of TaC coating


TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem Atom százalék
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Átlagos
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
A M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
LED EPI

LED EPI

A Vetek Semiconductor a TAC bevonatok és a SIC bevonó grafit alkatrészek vezető szállítója. Szakterületünk a legmodernebb LED-es EPI-érzők előállítása, amely nélkülözhetetlen a LED-epitaxia folyamatokhoz. Várom a további konzultációt.
MOCVD Susceptor TAC bevonattal

MOCVD Susceptor TAC bevonattal

A VeTek Semiconductor egy átfogó beszállító, amely a TaC bevonatok és SiC bevonat alkatrészek kutatásában, fejlesztésében, gyártásában, tervezésében és értékesítésében vesz részt. Szakértelmünk a legmodernebb, TaC bevonattal ellátott MOCVD szuszceptor gyártásában rejlik, amelyek létfontosságú szerepet játszanak a LED-epitaxiás folyamatban. Szeretettel várjuk, hogy megvitassák velünk kérdéseiket és további információkat.
TAC bevonatú mély UV LED Susceptor

TAC bevonatú mély UV LED Susceptor

A TAC bevonat egy új generációs bevonat fejlesztése a kemény környezet számára. A Vetek Semiconductor egy integrált szállító, amely kutatást és fejlesztést, gyártást, tervezést, tervezést és értékesítést folytat a TAC bevonatok. Szakterületünk az élvágó TAC-bevonatú UV LED-es érzők gyártására, amelyek döntő elemei a LED-epitaxia folyamatában. TAC -bevonatú mély UV LED -es Susceptorunk nagy hővezetőképességet, nagy mechanikai szilárdságot, javított termelési hatékonyságot és epitaxiális ostya védelmét kínálja. Üdvözöljük a kérdésben.
Tantalum karbid tac bevont félmoon

Tantalum karbid tac bevont félmoon

A CVD TAC bevonattal bevont Halfmoon alkatrészek tartósabbak, mint a SIC bevonatú Halfmoon Parts.Vetek Semiconductor a vezető gyártó és szállító Kínában ár. Üdvözöljük, hogy meglátogassa a gyárunkat a hosszú távú együttműködés további megbeszélésein.
TaC bevonatú háromszirom gyűrű

TaC bevonatú háromszirom gyűrű

A VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú háromsziromgyűrű-gyártó és innovátor Kínában. Sok éve szakosodunk TaC és SiC bevonatokra. Termékeink korrózióállóak és nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában. Üdvözöljük, hogy bármikor konzultáljon.
Tantalum karbid bevonatú chuck

Tantalum karbid bevonatú chuck

A Vetek Semiconductor egy vezető tantalum karbid bevonatú Chuck-gyártó és újító Kínában. A TAC bevonására évek óta szakosodtak.
Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept