Termékek

Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.


A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.


A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:


Excellent properties of TaC coating graphite


A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.


Főbb jellemzők:

 ●Hőmérséklet stabilitás

 ●Ultra magas tisztaságú

 ●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

 ●Hőanyaggal szembeni ellenállás

 ●Erős tapadás a grafithoz

 ●Konform bevonat lefedettség

 Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)


Alkalmazások:

 ●Ostyahordozó

 ● Induktív fűtési szuszceptor

 ● Ellenállásos fűtőelem

 ●Műholdas lemez

 ●Zuhanyfej

 ●Vezetőgyűrű

 ●LED Epi vevő

 ●Befecskendező fúvóka

 ●Maszkoló gyűrű

 ● Hővédő pajzs


Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező 0.3
Hőtágulási együttható 6,3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1×10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
A grafit mérete megváltozik -10-20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um±10um)


TaC bevonat EDX adatok

EDX data of TaC coating


TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem Atom százalék
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Átlagos
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
A M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC bevonatú háromszirom gyűrű

TaC bevonatú háromszirom gyűrű

A VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú háromsziromgyűrű-gyártó és innovátor Kínában. Sok éve szakosodunk TaC és SiC bevonatokra. Termékeink korrózióállóak és nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában. Üdvözöljük, hogy bármikor konzultáljon.
Tantalum karbid bevonatú chuck

Tantalum karbid bevonatú chuck

A Vetek Semiconductor egy vezető tantalum karbid bevonatú Chuck-gyártó és újító Kínában. A TAC bevonására évek óta szakosodtak.
Tantalum karbid bevont burkolat

Tantalum karbid bevont burkolat

A Vetek Semiconductor egy vezető tantalum karbid bevonatú borító gyártója és újítója Kínában. Sok éven át a TAC és a SIC bevonat specializálódott. Termékeink korrózióállósággal, nagy szilárdsággal rendelkeznek. Bízunk benne, hogy Kínában hosszú távú partnerévé válhat.
Porózus grafit tac bevonattal

Porózus grafit tac bevonattal

A porózus grafit TAC bevonattal egy fejlett félvezető -feldolgozó anyag, amelyet a Vetek Semiconductor biztosít. A porózus grafit TAC bevonattal ötvözi a porózus grafit és a tantalum karbid (TAC) bevonat előnyeit, jó hővezető képességgel és gázáteresztő képességgel. A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket biztosítson versenyképes áron.
Tantalum karbid bevonó burkolat

Tantalum karbid bevonó burkolat

A tantalum karbid bevonó burkolata nagy tisztaságú grafitból és TAC bevonatból áll. A Vetek Semiconductor a Kínában a tantalum karbid bevonat borítójának vezető szállítója és gyártója. A nagy tisztaságú, magas hőmérsékletű ellenálló tantalum-karbid termékek biztosítására összpontosítunk. Tantalum karbid bevont borítónk kiváló teljesítményt és megbízhatósággal rendelkezik, és hatékonyan képes megvédeni az anyagokat rendkívül magas hőmérsékleten és korrozív környezetben. Bízunk benne, hogy Kínában hosszú távú partnerré válhat. Üdvözöljük bármikor a konzultációban.
TAC bevonattal bevont deflektor gyűrű

TAC bevonattal bevont deflektor gyűrű

A Vetek Semiconductor TAC bevonatú Deflector -gyűrűje egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet a SIC kristály növekedési folyamatokhoz terveztek. A TAC bevonat kiváló magas hőmérsékletű ellenállást és kémiai tehetetlenséget biztosít a magas hőmérsékletekkel és a korrozív környezettel való megbirkózáshoz a kristálynövekedés során. Ez biztosítja az alkatrész stabil teljesítményét és hosszú élettartamát, csökkentve a csere és az állásidő gyakoriságát. Elkötelezettek vagyunk azért, hogy minőségi termékeket biztosítsunk versenyképes árakon, és várjuk, hogy hosszú távú partnere legyen Kínában.
Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept