Tantál-karbid bevonatú porózus grafit

A vetek félvezető tantalum karbid bevonatú porózus grafit szilícium -karbid (sIC) kristálygá vált, mivel szuper magas hőmérsékleti ellenállása (olvadáspontja 3880 ° C körül), kiváló hőstabilitás, mechanikai szilárdság és kémiai inertitás magas hőmérsékletű környezetben. Nélkülözhetetlen anyag a növekedési folyamatban. Különösen a porózus struktúrája számos technikai előnyt biztosít akristálynövekedési folyamat. 

A következők aTantalum karbid bevont porózus grafitfő szerepe:

● A gázáramlás hatékonyságának javítása és a folyamatparaméterek pontos szabályozása

A porózus grafit mikropórusos szerkezete elősegítheti a reakciógázok (például a karbidgáz és a nitrogén) egyenletes eloszlását, ezáltal optimalizálva a légkört a reakciózónában. Ez a tulajdonság hatékonyan elkerülheti a helyi gázok felhalmozódási vagy turbulencia problémáit, biztosítva, hogy a SIC kristályok egyenletesen legyenek hangsúlyozva a növekedési folyamat során, és a hibamegély jelentősen csökken. Ugyanakkor a porózus szerkezet lehetővé teszi a gáznyomás -gradiensek pontos beállítását is, tovább optimalizálva a kristály növekedési ütemét és javítva a termékkonzisztenciát.

●  Csökkentse a hőfeszültség felhalmozódását és javítsa a kristály integritását

A magas hőmérsékletű műveletek során a porózus tantalum karbid (TAC) elasztikus tulajdonságai szignifikánsan enyhítik a hőmérsékleti különbségek által okozott termikus stressz-koncentrációkat. Ez a képesség különösen fontos a SIC kristályok termesztésekor, csökkentve a termikus repedésképződés kockázatát, ezáltal javítva a kristályszerkezet integritását és a feldolgozási stabilitást.

●  Optimalizálja a hőeloszlás optimalizálása és az energiafelhasználás hatékonyságának javítása

A tantál-karbid bevonat nemcsak nagyobb hővezető képességet biztosít a porózus grafitnak, hanem porózus jellemzői is egyenletesen osztják el a hőt, biztosítva a rendkívül egyenletes hőmérséklet-eloszlást a reakcióterületen belül. Ez az egységes hőkezelés a nagy tisztaságú SiC kristályok előállításának alapvető feltétele. Jelentősen javíthatja a fűtési hatékonyságot, csökkentheti az energiafogyasztást, és gazdaságosabbá és hatékonyabbá teheti a gyártási folyamatot.

●  Növeli a korrózióállóságot és meghosszabbítja az alkatrészek élettartamát

A magas hőmérsékletű környezetben (például hidrogén- vagy szilícium-karbid gőzfázisban) gázok és melléktermékek súlyos korróziót okozhatnak. A TAC bevonat kiváló kémiai gátot biztosít a porózus grafit számára, jelentősen csökkentve az összetevő korróziós sebességét, ezáltal meghosszabbítva szolgálati élettartamát. Ezenkívül a bevonat biztosítja a porózus szerkezet hosszú távú stabilitását, biztosítva, hogy a gázszállítás tulajdonságait ne érintse.

●  Hatékonyan blokkolja a szennyeződések diffúzióját és biztosítja a kristálytisztaságot

A bevonat nélküli grafitmátrix nyomokban szennyeződéseket bocsáthat ki, és a TaC bevonat szigetelő gátként működik, hogy megakadályozza, hogy ezek a szennyeződések magas hőmérsékletű környezetben diffundáljanak a SiC kristályba. Ez az árnyékoló hatás kritikus fontosságú a kristálytisztaság javítása és a félvezetőipar magas minőségű SiC anyagokra vonatkozó szigorú követelményeinek teljesítésében.

A Vetek Semiconductor tantalum karbid bevonatú porózus grafitja szignifikánsan javítja a folyamat hatékonyságát és a kristály minőségét azáltal, hogy optimalizálja a gázáramlást, csökkenti a termikus stressz, javítja a termikus egységességet, fokozza a korrózióállóságot és gátolja a szennyeződés diffúzióját a SIC kristály növekedési folyamat során. Ennek az anyagnak az alkalmazása nemcsak a termelés nagy pontosságát és tisztaságát biztosítja, hanem jelentősen csökkenti a működési költségeket, így a modern félvezető gyártásban fontos oszlop.

Ennél is fontosabb, hogy a VeTeksemi régóta elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezető-gyártó ipar számára, és támogatja a testre szabott tantál-karbid bevonatú porózus grafit termékszolgáltatásokat. Őszintén várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.

A tantál-karbid bevonat fizikai tulajdonságai

Vetek félvezető tantalum karbid bevont porózus grafitgyártó üzletek