TAC bevonat tégely

VeTek Semiconductor'sCVD TAC bevonattal ellátott kereszteződésekÁltalában a következő kulcsszerepet játssza a PVT módszer SIC egykristály növekedési folyamatában:

A PVT módszer arra utal, hogy egy SIC magkristályt a TAC bevonatú tégely tetejére helyez, és a SIC port nyersanyagként helyezkedik el a tégely aljára. A magas hőmérsékleten és alacsony nyomáson lévő zárt környezetben a SIC por szublimálódik, és a hőmérsékleti gradiens és a koncentráció különbsége alatt aSicporátkerül a vetőmag kristály közelébe, és átkristályosítás után eléri a túltelített állapotot. Ezért a PVT módszer képes elérni a SIC kristály méretének és a specifikus kristály formájának szabályozható növekedését.

● A kristálynövekedés termikus stabilitása

A Vetek Semiconductor TAC bevonatú keresztesítői kiváló hőstabilitással rendelkeznek (2200 ℃ alatt stabil maradhatnak), ami elősegíti a szerkezeti integritásuk fenntartását, még az egykristálynövekedéshez szükséges rendkívül magas hőmérsékleten is. Ez a fizikai tulajdonság lehetővé teszi a SIC bevonatú grafit tégelyének pontos szabályozását a kristálynövekedés folyamatában, ami nagyon egyenletes és hibamentes kristályokat eredményez.

● Kiváló kémiai gát

A TAC bevonattal ellátott keresztesítői kombinálják a tantalum karbid bevonatot egy nagy tisztaságú grafit -tégelygel, hogy kiválóan ellenálljanak a korrozív vegyi anyagok és az olvadt anyagok széles skálájának, amelyet általában a SIC egyetlen kristálynövekedés során tapasztaltak. Ez a tulajdonság kritikus fontosságú a minimális hibákkal rendelkező kiváló minőségű kristályok eléréséhez.

● A rezgések csillapítása stabil növekedési környezethez

A TAC -bevonatú tégely kiváló csillapító tulajdonságai minimalizálják a rezgéseket és a termikus sokkot a grafit tégelyben, tovább hozzájárulva a stabil és ellenőrzött kristálynövekedési környezethez. Ezen potenciális beavatkozási források enyhítésével a TAC bevonat lehetővé teszi a nagyobb, egységesebb kristályok növekedését, csökkentett hibasűrűséggel, végül növelve az eszköz hozamát és javítva az eszköz teljesítményét.

● Kiváló hővezető képesség

A Vetekchemicon bevonatú keresztrecinusai kiváló hővezetőképességgel rendelkeznek, ami elősegíti a grafit tégelyt a hőt gyorsan és egyenletes átvitelében. Ez meghatározza a hőmérséklet pontos szabályozását a kristály növekedési folyamatában, minimalizálva a termikus gradiensek által okozott kristályhibákat.

Tantalum karbid (TAC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten

Fizikai tulajdonságaiTantalum karbid bevonat

Vetek félvezető gyártóüzletek