Porózus tantál-karbid (TaC) bevonatú grafitgyűrű

Termékjellemzők

• Alapfelszereltség:PVT technológiával működő SiC egykristály növesztő kemencékhez való.
• Elsődleges alkalmazás:Harmadik generációs félvezető SiC kristálynövekedési termikus térrendszerekhez alkalmas.
• Stabilitás magas hőmérsékleten:A TaC bevonat ultramagas hőmérsékleten is megőrzi szerkezeti integritását, így támogatja a hosszabb működést igényes hőmérsékleti környezetben.
• Korrózióvédelem:A sűrű CVD TaC réteg megvédi a grafit szubsztrátumot a szilíciumgőztől, széntartalmú gázoktól és más korrozív anyagoktól, amelyek a SiC növekedése során találkoznak.
• Hőmező teljesítménye:A porózus grafit alap segíti a hőelosztást és a páraszállítást, ami segít fenntartani a stabil növekedési feltételeket.
• Alacsony szennyeződés:A nagy tisztaságú kiindulási anyagok és a sűrű bevonat korlátozzák a szennyeződések felszabadulását és a részecskék leválását, ami javítja a kristályminőséget.
• Meghosszabbított élettartam:A TaC réteg javítja az oxidációval szembeni ellenállást, a felületi keménységet és az általános tartósságot emelt hőmérsékleten.
• Bevonat tapadása:A CVD eljárás erős kötést hoz létre a TaC film és a grafit szubsztrát között.
• Egyéni beállítások:A méretek, a szerkezeti részletek és a bevonat specifikációi beállíthatók, hogy megfeleljenek a különböző SiC növesztőkemencék követelményeinek.

Műszaki előírások

Alkalmazások

A VETEK porózus TaC bevonatú grafitgyűrűt elsősorban a következőkben használják:

• SiC egykristály növekedés PVT-n keresztül
• Harmadik generációs félvezető gyártás
• SiC szubsztrát gyártás
• Hőmező rendszerek kristálynövesztő kemencékben
• Magas hőmérsékletű félvezető feldolgozás
• Fejlett grafit melegzóna alkatrészek

GYIK

1. Mi az a porózus TaC bevonatú grafitgyűrű?

Ez egy termikus térkomponens a SiC kristálynövekedő kemencékhez. A porózus grafitszerkezetet CVD TaC bevonattal kombinálja, hogy hőkezelést és védelmet nyújtson a magas hőmérsékletű korrózió ellen.

2. Miért használjunk TaC bevonatot SiC kristálynövekedéshez?

A TaC magas hőmérsékleti stabilitást és vegyszerállóságot biztosít. Megvédi a grafitot a szilíciumgőz elleni támadástól, és segít fenntartani a tiszta, stabil növekedési környezetet.

3. Mit kínál a porózus grafitszerkezet?

A porózus kialakítás támogatja a hőeloszlást és a gázszállítást a kemencében, ami hozzájárul a stabil SiC kristálynövekedési feltételekhez.

4. A VETEK gyárthat egyedi TaC bevonatú grafitgyűrűket?

Igen. A VETEK testreszabást kínál az ügyfelek rajzai, kemencetervei és folyamatigényei alapján, beleértve a méreteket, az aljzat konfigurációját és a bevonat paramétereit.