TaC bevonatú grafit ostya fedőgyűrű

Alapvető műszaki előnyök

• Kivételes vegyszerállóság: Úgy tervezték, hogy ellenálljon a kemény maratógázoknak (H₂, NH3, HCl) 1200°C és 2000°C közötti hőmérsékleten.

• Hőtágulási illesztés: A szabadalmaztatott CVD-eljárásunk biztosítja, hogy a TaC bevonat optimalizált CTE-bevonattal (hőtágulási együttható) illeszkedjen a grafit szubsztrátumhoz, megakadályozva a leválást vagy a repedést a gyors hőciklus során.

• Kiváló részecskeszabályozás: A porózus grafit teljes lezárásával a TaC réteg kiküszöböli a részecskék leválását, közvetlenül növelve az ostya hozamát és csökkentve a reaktor állásidejét.

• Meghosszabbított élettartam: Rendkívül kopásálló felület, amely ellenáll az ismételt tisztítási ciklusoknak, és lényegesen alacsonyabb fenntartási költséget (CoO) kínál a bevonat nélküli vagy SiC bevonatú alternatívákhoz képest.

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten

A TaC bevonatú grafit ostyaborító gyűrű termékparamétere

Miért válassza a TaC fedőgyűrűinket?

Megértjük, hogy a félvezetőgyártásban a megbízhatóság egyenlő a jövedelmezőséggel. A TaC bevonatú grafit ostyaborító gyűrűinket tételesen tesztelték a bevonat sűrűsége és tisztasága szempontjából. Akár 6 hüvelykes ostyagyártásról 8 hüvelykesre vált át, vagy egy magas hőmérsékletű MOCVD-eljárást optimalizál, gyűrűink biztosítják a világszínvonalú epitaxiához szükséges hő- és kémiai árnyékolást.