SiC Kerámia vákuum tokmány ostyához

A Veteksemicon sic kerámia vákuum tokmány ostyához egy olyan alapelem, amelyet kifejezetten a harmadik generációs félvezetőgyártáshoz fejlesztettek ki, és az ostyák által tapasztalt magas hőmérsékletű, nagynyomású feldolgozási környezetekhez optimalizálták. A nagy tisztaságú kerámia anyagokból készült, precíziós megmunkálás és speciális felületkezelés biztosítja a stabil vákuumtartó teljesítményt és a kiváló hőstabilitást az igényes félvezetőgyártási folyamatban. Vákuumos tokmányainkat több száz félvezetőgyártó tesztelte, kiváló teljesítményt bizonyítva olyan kritikus folyamatokban, mint a SiC epitaxia, fotoliion implantáció. Hatékonyan kezelik a lapkák vetemedését és a pozicionálási pontossággal kapcsolatos problémákat, amelyeket a nagy anyagkeménység és a magas folyamathőmérséklet okoz.

Általános termékinformációk

A termék üzleti feltételei

Alkalmazás: A Veteksemicon kerámia vákuum tokmány ostyához nagy teljesítményű kerámia anyagokból készült, és precíziós megmunkálással ultrasima felületet és kiváló hőstabilitást biztosít. Megbízható lapka-adszorpciós és hőmérséklet-szabályozási megoldásokat biztosít olyan folyamatokhoz, mint az epitaxiális növekedés, ionimplantáció és fotolitográfia, hatékonyan javítva a folyamathozamot és a termelés hatékonyságát.

Nyújtható szolgáltatások: ügyfélalkalmazási forgatókönyv elemzés, anyagok egyeztetése, műszaki problémamegoldás.

Vállalati profil：A Veeteksemicon 2 laboratóriummal, 20 éves anyagi tapasztalattal rendelkező szakértői csapattal rendelkezik, K+F és gyártási, tesztelési és ellenőrzési képességekkel.

Veteksemicon kerámia vákuum tokmány az ostyamag előnyeiért

 ● Anyagtudományi áttörés

A Veteksemicon egyedülálló anyagösszetételt és szinterezési eljárást alkalmaz, hogy jelentősen növelje termékei mechanikai szilárdságát és hőstabilitását, miközben megőrzi a kerámia anyagok kiváló szigetelő tulajdonságait. Alumínium-oxid alapú kerámiáink nagy tisztaságú nyersanyagokat és speciális adalékanyag-összetételt használnak, amelyek kiváló méretstabilitást biztosítanak még magas hőmérsékletű környezetben is. Szilícium-karbid alapú kerámiáink az optimalizált szinterezési folyamat révén magasabb hővezetőképességet és jobb termikus illeszkedést érnek el, így különösen alkalmasak a magas hőmérsékletű SiC lapkák feldolgozására.

 ● Kiváló hőkezelési teljesítmény

Egyedülálló többrétegű kialakításunk és precíziós megmunkálásunk biztosítja, hogy a tokmány kiváló hőmérsékleti egyenletességet tartson fenn még magas hőmérsékleti üzemi körülmények között is. A szilícium-karbid tokmány hővezető képessége meghaladja a 200 W/m·K-t, ami lehetővé teszi a gyors hőmérséklet-kiegyenlítést és a lapka felületi hőmérséklet-ingadozásának ±0,8°C-on belüli tartását. Ez a kiváló hőkezelési képesség hatékonyan elkerüli a hőmérséklet-ingadozások okozta folyamathibákat, és jelentősen javítja a termékhozamot.

● Ultra-precíziós megmunkálási technológia

A Veteksemicon vezető precíziós megmunkáló központokkal büszkélkedhet Kínában, amelyek egyedi csiszolási és polírozási eljárásokat alkalmaznak a mikronos felületi síkság elérése érdekében. Szilícium-karbid tokmányaink felületi síkságot érnek el 0,8 μm-en belül, a felületi érdesség Ra értéke pedig legfeljebb 0,1 μm. Ez az ultra-precíziós felületi minőség tökéletes illeszkedést biztosít az ostya és a tokmány között, megbízható lapos referenciaként szolgálva a precíziós folyamatokhoz, például a fotolitográfiához.

● Megnövelt élettartam

Az optimalizált anyagösszetételnek és a megerősített szerkezeti kialakításnak köszönhetően termékeink élettartama meghaladja a 40%-ot a hagyományos termékekhez képest. A speciális élerősítési és felületbevonó technológiák lehetővé teszik, hogy termékeink ellenálljanak a gyakori befogási és tisztítási műveleteknek. Az alumínium-oxid alapú termékek garantáltan több mint 200 000-szer működnek, míg a szilícium-karbid alapú termékek elérhetik az 500 000 ciklust, ami jelentősen csökkenti ügyfeleink működési költségeit.

● Ökológiai lánc hitelesítési jóváhagyás

A Veteksemicon kerámia vákuum tokmány ostya ökológiai láncellenőrzése kiterjed a nyersanyagokra a gyártásig, átesett a nemzetközi szabványos tanúsítványon, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik, amelyek biztosítják megbízhatóságát és fenntarthatóságát a félvezető és az új energiaterületeken.

A részletes műszaki leírásokért, tanulmányokért vagy a vizsgálati mintákért kérjükforduljon műszaki támogatási csapatunkhozhogy feltárja, hogyan javíthatja a Veteksemicon a folyamatok hatékonyságát.