Ostyakezelő véghatás

Az ostyakezelő véghatás egy olyan típusú robot kéz, amelyet kifejezetten a félvezető ipar számára terveztek, általában kezelni és átvitelre használjákostya- Az ostyák termelési környezete rendkívül magas tisztaságot igényel, mivel az apró részecskék vagy szennyező anyagok a chipek meghibásodását okozhatják a feldolgozás során. 

A kerámia anyagokat széles körben használják ezeknek a kéznek a gyártásában, kiváló fizikai és kémiai tulajdonságaik miatt.

Tisztaság és összetétel

Az alumínium -oxid tisztasága általában ≥ 99,9%, és a fém szennyeződéseket (például MGO, CAO, SIO₂) 0,05% -on belül 0,8% -on belül szabályozzák, hogy javítsák a plazma maratás ellenállását.

Az α-fázisú alumínium-oxid (Corundum szerkezet) a fő, a kristálytípus stabil, a sűrűség 3,98 g/cm3, és a szinterelés utáni tényleges sűrűség 3,6 ~ 3,9 g/cm3.

Mechanikus tulajdonság

Keménység: Mohs keménység 9 ~ 9,5, Vickers keménység 1800 ~ 2100 HV, magasabb, mint a rozsdamentes acél és az ötvözet.

Hajlító szilárdság: 300 ~ 400 MPa, amely képes ellenállni a ostya nagy sebességű kezelésének mechanikai feszültségének.

Rugalmassági modulus: 380 ~ 400 GPa, annak biztosítása érdekében, hogy a kezelőkar merev és nem könnyű deformálódni.

Termikus és elektromos tulajdonságok

Hővezető képesség: 20 ~ 30 W/(m · k), továbbra is tartsa fenn a stabil szigetelést (ellenállás> 10¹⁴ ω · cm).

Hőmérsékleti ellenállás: A hosszú távú felhasználási hőmérséklet elérheti a 850 ~ 1300 ℃-t, amely alkalmas vákuum magas hőmérsékleti környezetre.

Felületi tulajdonság

Felületi érdesség: RA≤ 0,2 μm (polírozás után) az ostya karcolásainak elkerülése érdekében

Vákuum adszorpciós porozitás: Az izosztatikus sajtolás által elért üreges szerkezet, a porozitás <0,5%.

Másodszor, a szerkezeti tervezési jellemzők

Könnyű és erő optimalizálás

Az integrált formázási eljárás alkalmazásával a súly csak a fémkar 1/3 -e, csökkentve a tehetetlenség által okozott pozicionálási hibát.

A véghatót megfogóként vagy vákuum abszorbensként tervezték, és az érintkezési felületet antisztatikus bevonattal borítják be, hogy megakadályozzák az ostya, hogy a 710-et elektrosztatikus adszorpcióval szennyezzék.

Szennyezés ellenállás

A magas tisztaságú alumínium -oxid kémiailag inert, nem engedi fel a fémionokat, és megfelel a félig F47 tisztasági standardnak (részecskeszennyezés <10 ppm).

Harmadszor, a gyártási folyamat követelményei

Kialakítás és szinterezés

Isosztatikus préselés (nyomás 200 ~ 300 MPa), hogy biztosítsa az anyag sűrűségét> 99,5%.

Magas hőmérsékletű szinterelés (1600 ~ 1800 ℃), a szemcseméret szabályozása 1 ~ 5 μm -ben az erő és a szilárdság kiegyensúlyozása érdekében.

Pontossági megmunkálás

Gyémánt őrlési feldolgozás, dimenziós pontosság ± 0,01 mm, síkság ≤ 0,05 mm/m

Veteksemicon Termékek üzletek: