Kerámia elektrosztatikus chuck

A félvezető gyártási folyamatokat, különösen az ostya -feldolgozást vákuum környezetben hajtják végre, és az ostyák mechanikusan rögzítik 

bizonyos kockázatok. Amikor az erő a szorító pontra koncentrálódik, a törékeny szilícium ostyák apró töredékeket okozhatnak, ami súlyos károkat okozhat az ostyak előállításában.

Ebben az esetben a kerámia elektrosztatikus chuck jobb választássá válik, amely az ostyát elektrosztatikus erővel rögzíti. Az elektrosztatikus erő egyenletesen hat az ostyára, így az ostya határozottan rögzíthető, javítva a folyamat pontosságát.

A releváns kutatási dokumentumok szerint a kerámia elektrosztatikus chuck erősebb szívás, mint más elektrosztatikus chuck. Például a kerámia elektrosztatikus Chuck -nak sokkal erősebb szívása van, mint a PET -film elektrosztatikus chuck.

A Ceramics Chuck általában nagy teljesítményű kerámia anyagokból készül, mint például az AL2O3, ALN vagy SIC, amelyek magas hőállósággal, szigeteléssel és korrózióállósággal rendelkeznek. A porózus SIC kerámia chuck nemcsak szélsőséges hőmérsékleten stabil, hanem hatékonyan megakadályozza a kerámia e-lejátszást a kémiai reagensek és a plazma maratás miatt a gyártási folyamat során.

Hőmérsékleti szabályozás: A nagy hővezető képesség és a kerámia anyagok stabil hőtulajdonságai lehetővé teszik az alumínium -oxid kerámia vákuumának a hőmérséklet hatékony szabályozását, ezáltal optimalizálva a hőmérséklet -eloszlást a folyamat során.

Vákuum alkalmazkodóképesség: A kerámia elektrosztatikus chuck alkalmas vákuumkörnyezetre, különösen alacsony nyomású és nagy pontosságú maratási folyamatokban.

Alacsony részecskéből: A porózus SIC kerámia e-chuck-nak sima felülete van, amely csökkentheti a részecskek szennyeződését az ostya rögzítése során és elősegíti a termék hozama javítását.

Alkalmazás: Elsősorban félvezető gyártásban, leválasztható kerámia elektrosztatikus Chuck -ban használják, amely pontos pozicionálást és stabilitást biztosít, ami nagyon hasznos a litográfia, a maratás és más félvezető ostyák feldolgozási folyamatainak. Győződjön meg arról, hogy az ostya érintetlen -e a feldolgozás során, és javítsa a chip előállításának minőségét.

VeTek SemiconductorKerámia e-chuck produkciós üzletek: