Alumínium -oxid kerámia vákuum chuck

Az alumínium -oxid -i kerámia vákuum, a Chuck ostya -tartó az epitaxiális folyamatokhoz félvezető feldolgozás során. Ez egy kulcsfontosságú eszköz az ostya stabilizálásához és az epitaxiális rétegek egyenletes növekedésének biztosításához. Széles körben használják az epitaxiális berendezésekben, mint példáulMoCVDésLPCVD.

A Vetek Semiconductor alumínium -oxid kerámia vákuum, Chuck létfontosságú szerepet játszik a félvezető gyártás ostoba elvékonyodási és őrlési szakaszaiban. Ezek a szakaszok magukban foglalják aostya szubsztrátA chip hőeloszlásának fokozása érdekében, amely elengedhetetlen a félvezető eszközök hatékonyságának és élettartamának javításához.

Kompatibilis több ostyamérettel: Vetek félvezető alumínium -oxid kerámia vákuum A Chuck -ot úgy tervezték, hogy támogassa a ostyaméret széles skáláját, beleértve 2, 3, 4, 5, 6, 8 és 12 hüvelyk. Ez az alkalmazkodóképesség lehetővé teszi a különféle félvezető termelési környezetekhez, biztosítva a következetes és megbízható teljesítményt a különböző ostyaméretek között.

Kiváló anyagösszetétel: Az alumínium-oxid kerámia vákuum alapja ultra-tiszta 99,9999% alumínium-oxidból készül (AL₂O₃), amely kiválóan ellenáll a kémiai támadásnak és a hőstabilitásnak. A chuck felülete porózusból készülSzilícium -karbid (sic)- A porózus kerámia anyag sűrű és egységes szerkezetű, ami javítja tartósságát és teljesítményét.

ElőnyökPorózus kerámia technológia：

Anyagi tisztaság és tartósság: 99,99% tiszta alumínium -oxidból készül, az alumínium -oxid -i kerámia vákuuma ellenáll a kémiai támadásoknak, és kiváló hőstabilitást kínál, így ideális a rendkívül igényes gyártási környezethez.

Optimális porozitás és levegő permeabilitás: Az egyenletesen elosztott mikropórusok kiváló levegő -permeabilitást és egységes adszorpciós erőt biztosítanak, ami sima és következetes működést eredményez.

Fokozott laposság és párhuzamosság: A mikropórusos alumínium -oxid kerámia vákuuma kiváló lapos és párhuzamossággal rendelkezik, biztosítva a pontos ostyakezelést és stabilitást.

Testreszabott szolgáltatási képességek: A Vetekemi különféle testreszabható formákat tud biztosítani, beleértve a kerek, négyzet alakú, gyűrű és egyéb mintákat, vastagsággal 3 mm -től 10 mm -ig. Ez a testreszabás biztosítja, hogy az alumínium -oxid -i kerámia vákuumcsomók megfeleljenek a különféle félvezető gyártási folyamatok sajátos igényeinek, és határozottan az Ön ideális választása.

A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezető ipar számára, és őszintén reméljük, hogy Kínában hosszú távú partnere lesz.

AKémiai képletealumínium -oxid -kerámia：

VeTek SemiconductorAlumínium -oxid kerámia vákuum chuck boltok: