TaC bevonatú háromszirom gyűrű

A VeTek Semiconductor egy professzionális kínai TaC bevonatú háromszirom gyűrű gyártója és szállítója. A TaC bevonatú háromszirom gyűrűt az Aixtron G10 leválasztási rendszerben használják összetett félvezetők, G10-GaN 150/200 mm nagy áteresztőképességű epitaxia számára GaN teljesítményhez és rádiófrekvenciához. alkalmazások.

A Vetek félvezető TAC bevonat a magas hőmérsékletű ellenálló anyag új generációja, jobb hőmérsékleti stabilitással, mint a SIC, mint egy korrózióálló bevonat, oxidációs ellenálló bevonat, kopásálló bevonat használható a 2000 feletti környezetben, amelyet széles körben használnak. Repülési ultra-magas hőmérsékletű forró végű alkatrészek, a félvezető egykristálynövekedés és más mezők harmadik generációja.

Termékjellemzők:

1. Nagy tisztaságú, szennyeződéstartalom < 5ppm

2. Magas hőmérséklet-ellenállás, korrózióállóság, nagy sűrűség, nagy sűrűség

3. Magas hőmérsékleten kémiailag közömbös az ammóniával, hidrogénnel, szilánnal és szilíciummal szemben, és jó hőstabilitású.

4. A termikus sokk ellenállás felgyorsíthatja a működési ciklust

5. Az erős grafit tapadás biztosítja a hosszú élettartamot és a bevonat leválását.

6. Szigorú mérettűrések.

Fő alkalmazások:

1. epitaxiális növekedés

2. Egykristály növekedés

3. Magas hőmérsékletű korrózió elterelése

4. Magas hőmérsékleten és oxidációs ellenálló fúvóka

5. Gázturbina lapátok

A TaC bevonatú háromsziromgyűrű termékparamétere

VeTek Semiconductor Production Shop：