Szilícium-karbid bevonat

A Vetekchemon CVD SIC bevonatú grafit zuhanyfej egy nagy teljesítményű komponens, amelyet kifejezetten félvezető kémiai gőzlerakódás (CVD) folyamatokhoz terveztek. A nagy tisztaságú grafitból gyártott és kémiai gőzlerakódás (CVD) szilícium-karbid (SIC) bevonattal védett, ez a zuhanyfej kiemelkedő tartósságot, hőstabilitást és a korrozív folyamatgázokkal szembeni ellenállást biztosít. Várom a további konzultációt.

A Vetekchemon által a szilícium-karbid bevonó ostyavezető pontosságát és teljesítményét úgy tervezték, hogy fejlett félvezető folyamatokban, például MOCVD, LPCVD és magas hőmérsékletű lágyítás. Egységes CVD SIC bevonattal ez az ostya tartó biztosítja a kivételes hővezető képességet, a kémiai inertitást és a mechanikai szilárdságot-elengedhetetlen a szennyeződésmentes, magas hozamú ostya feldolgozásához.

A Vetekchemicon nagy tisztességes SIC Edge gyűrűk, amelyeket kifejezetten félvezető maratási berendezésekhez terveztek, kiemelkedő korrózióállóság és hőstabilitás, jelentősen javítva az ostyahozamot

A Szilícium -karbid bevonó termékek vezető kínai gyártójaként és szállítójaként a Vetekchechon SIC bevonatú ostyahordozója pótolhatatlan alapvető szerepet játszik a maratási folyamatban, kiváló hőmérsékleti stabilitással, kiemelkedő korrózióállósággal és magas hővezető képességgel.

A Vetekchemon CVD SIC bevonatú ostya-érzékenysége egy élvonalbeli megoldás a félvezető epitaxiális folyamatokhoz, amelyek rendkívül magas tisztaságot (≤100pp, ICP-E10 tanúsítvánnyal) és kivételes termikus/kémiai stabilitást kínálnak a GAN, SIC és szilikon alapú Epi-Layers szennyeződés-ellenálló növekedéséhez. A precíziós CVD technológiával fejlesztve támogatja a 6 ”/8”/12 ”-es ostyákat, biztosítja a minimális termikus feszültséget, és ellenáll a szélsőséges hőmérsékleteknek 1600 ° C -ig.

A SIC bevonatú bolygószövetségünk a félvezető gyártás magas hőmérsékleti folyamatának alapvető alkotóeleme. Tervei ötvözik a grafit szubsztrátot a szilícium -karbid bevonattal, hogy elérjék a termálkezelési teljesítmény, a kémiai stabilitás és a mechanikai szilárdság átfogó optimalizálását.