SIC bevonattal ellátott tartógyűrű

VeTek Semiconductor, Kínában székhellyel rendelkező vezető gyártó és szállító számos termék előállítására szakosodottSiC bevonatú tartógyűrűk, CVD szilícium-karbid bevonatok, tantál-karbid bevonatok, ömlesztett SiC, SiC porok és nagy tisztaságú SiC anyagok. Elkötelezettségünk abban rejlik, hogy átfogó műszaki segítséget és optimális termékmegoldásokat kínáljunk a félvezető szektorra szabva. Bővebb információért és segítségért forduljon hozzánk bizalommal.

VeTek Semiconductor'sSiC bevonatú tartógyűrűka magas hőmérsékletnek ellenálló anyagok új generációja. Korrózióálló bevonatokként, oxidációálló bevonatokként és kopásálló bevonatokként 1650 ℃ feletti környezetben használhatók, és széles körben használják a félvezető területeken.

A kiváló minőségű jellemzőiSiC bevonatú tartógyűrűkNagyon fontos szerepet játszanak a harmadik generációs félvezető komponensek epitaxiális növekedésében.

A hőmérséklet egyenletességének megőrzése: A SiC bevonatú tartógyűrűk kiváló hővezető képességgel rendelkeznek, és egyenletes hőmérséklet-eloszlást biztosítanak az epitaxiális növekedés során. Ez segít csökkenteni az ostya felületén a termikus gradienseket és feszültségeket, ezáltal javítva az epitaxiális réteg minőségét.

Extrém kémiai stabilitás: Az epitaxiális növekedési folyamat során,SiC bevonatú tartógyűrűkképesek ellenállni a reakciógázok kémiai támadásának, meghosszabbítva a tartógyűrűk élettartamát és fenntartva a folyamat integritását. Ez a kémiai stabilitás csökkenti a szennyeződés kockázatát, és javítja a félvezető eszközök tisztaságát és teljesítményét.

Precíz pozicionálás: A SIC bevont tartógyűrűk képesek fenntartani az ostya pontos elhelyezését, ami kritikus jelentőségű az egységes réteg lerakódásának elérése szempontjából. Ez a pontos pozicionálás elősegíti az epitaxiális réteg vastagságának és minőségének konzisztenciáját.

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:

VeTek Semiconductor Production Shop:

A félvezető chip -epitaxia ipari láncának áttekintése: