Kvarcgáz -elosztó lemez

A kvarcgáz -eloszlási lemezek, más néven kvarc zuhanyfejek, kritikus alkatrészek a félvezető gyártásban. A kvarc kivételes tisztaságát, magas hőmérsékletű ellenállását és korrózióállóságát kihasználva ezek a lemezek biztosítják a feldolgozási gázok egyenletes és stabil áramlását az ostya felületére. Ez a pontos kézbesítés elengedhetetlen a lerakódott filmek vagy maratott funkciók minőségének és egységességének fenntartásához.

A nagy tisztaságú olvasztott kvarc legfontosabb jellemzői

● Anyag: 99,99%nagyságú, olvasztott kvarc

● Magas hőmérsékleti ellenállás: Ellenáll az 1000 ℃ feletti hőmérsékletnek

● Korrózióállóság: Kiváló tartósság a folyamatgázok és a plazmakörnyezetek ellen

● Precíziós gázáramlás: Egységes mikro-lyuk eloszlás az optimális gázszállításhoz és a lerakódás egységességéhez

● Testreszabható formatervezés: Méret, lyuk minta és szerelési tulajdonságai személyre szabhatók meghatározott felszerelési modellekhez

Alapvető szerepek a félvezető gyártásában

1. Fizikai gőzlerakódás (PVD) és kémiai gőzlerakódás (CVD)

Szerep: PVD és CVD folyamatokban a gázelosztási lemez pontosan a reaktív gázokat (például szilán, ammónia, oxigént) vagy a ostya prekurzorait irányítja, hogy a kívánt vékony fóliát képezzék.

Konkrét felhasználások:

● Az egységesség-szabályozás: A lemez pontosan megtervezett mikro-lyukak gondoskodnak arról, hogy a gázáramlás és a koncentráció egyenletes legyen a teljes ostya felületén. Ez elengedhetetlen a folyamatosan vastagságú és teljesítményű filmek lerakásához.

● A szennyeződés megelőzése: A kvarc nagy tisztasága megakadályozza, hogy a lemez reagáljon a folyamatgázokkal vagy a szennyeződések felszabadítását. Ez fenntartja a film tisztaságát és megakadályozza az ostya felületének hibáit.

2.

Szerep: A PECVD -ben a Quartz Showerhead nemcsak reaktív gázokat szállít, hanem elektródaként is működik a plazma előállításához.

Konkrét felhasználások:

● Plazma gyújtás: A zuhanyfej általában egy rádiófrekvenciás (RF) energiaforráshoz van csatlakoztatva a plazma előállításához. A plazmán belüli nagy energiájú részecskék elősegítik a gáznemű reagensek bomlását, lehetővé téve a film lerakódását alacsonyabb hőmérsékleten.

● Hőstabilitás: A kvarc kiváló hőstabilitást mutat, lehetővé téve, hogy ellenálljon a magas hőmérsékletű plazma környezetnek. Ez elősegíti a folyamatkamrán belüli egyenletes hőmérséklet fenntartását, tovább biztosítva a film minőségét és következetességét.

3. Száraz maratás

Szerep: Száraz maratás során a gázelosztási lemez reaktív marató gázokat (például fluor -szénhidrogéneket, klórot) vezet be a maratási kamrába.

Konkrét felhasználások:

● Metch egységesség: A lemez biztosítja a maratógázok egyenletes áramlását és koncentrációját, ami garantálja a következetes maratási mélységet és profilt az egész ostya területén. Ez elengedhetetlen a fejlett félvezető készülékekhez szükséges pontos minták eléréséhez.

● Korrózióállóság: A marató gázok erős korrozív tulajdonságai tartós anyagot igényelnek. A kvarc magas korrózióállósága meghosszabbítja a zuhanyfej élettartamát, és csökkenti a folyamat megszakításának kockázatát.

4. ostya tisztítása

Szerep: Különleges ostya tisztítási folyamatokban egy kvarcgáz -elosztási lemezt használnak a tisztítógázok (például ózon, ammónia) szállítására az ostya felületére, hogy eltávolítsák a maradékokat vagy szennyeződéseket.

Konkrét felhasználások:

● Konzisztens tisztítás: A lemez biztosítja, hogy a gázok tisztítása elérje az ostya minden részét, lehetővé téve az alapos és egységes tisztítási folyamatot.

● Kémiai kompatibilitás: A kvarc kompatibilitása a tisztítószerek széles skálájával megakadályozza a reakciókat, és fenntartja a tisztítási folyamat tisztaságát és hatékonyságát.