Termékek

A Vetek CVD TaC Coated Susceptor egy precíziós megoldás, amelyet kifejezetten a nagy teljesítményű MOCVD epitaxiális növekedéshez fejlesztettek ki. Kiváló termikus stabilitást és kémiai tehetetlenséget mutat extrém magas hőmérsékletű, 1600°C-os környezetben. A VETEK szigorú CVD-leválasztási folyamatára támaszkodva elkötelezettek vagyunk a lapka növekedési egyenletességének javítása, a magkomponensek élettartamának meghosszabbítása mellett, valamint stabil és megbízható teljesítménygaranciák biztosítása minden félvezető-gyártási tételhez.

A Veteksemicon szilícium-karbid (SiC) fókuszáló gyűrű egy kritikus fogyóelem, amelyet fejlett félvezető-epitaxiás és plazmamaratási eljárásokban használnak, ahol elengedhetetlen a plazmaeloszlás, a termikus egyenletesség és a lapka élhatásainak pontos szabályozása. A nagy tisztaságú szilárd szilícium-karbidból készült fókuszáló gyűrű kivételes plazma erózióállóságot, magas hőmérsékleti stabilitást és kémiai inertséget mutat, ami megbízható teljesítményt tesz lehetővé agresszív folyamatkörülmények között. Várjuk érdeklődését.

A szilícium-karbid kristálynövekedés a nagy teljesítményű félvezető eszközök gyártási folyamatának egyik alapvető folyamata. A kristálynövesztő berendezés stabilitása, pontossága és kompatibilitása közvetlenül meghatározza a szilícium-karbid tömbök minőségét és hozamát. A fizikai gőzszállítás (PVT) technológia jellemzői alapján a Veteksemi kifejlesztett egy ellenállásfűtő kemencét szilícium-karbid kristályok növesztésére, amely lehetővé teszi a 6 hüvelykes, 8 hüvelykes és 12 hüvelykes szilícium-karbid kristályok stabil növekedését, teljes kompatibilitást vezető, félig szigetelő anyagrendszerekkel és N-típusú anyagrendszerekkel. A hőmérséklet, a nyomás és a teljesítmény precíz szabályozása révén hatékonyan csökkenti a kristályhibákat, mint például az EPD (Etch Pit Density) és a BPD (alapsík diszlokáció), miközben alacsony energiafogyasztással és kompakt kialakítással rendelkezik, hogy megfeleljen az ipari nagyméretű gyártás magas követelményeinek.

A SiC magkötési technológia az egyik kulcsfontosságú folyamat, amely befolyásolja a kristálynövekedést. A VETEK ennek a folyamatnak a jellemzői alapján kifejlesztett egy speciális vákuum-forrósajtoló kemencét a magkötéshez. A kemence hatékonyan képes csökkenteni a magkötési folyamat során keletkező különféle hibákat, ezáltal javítva a kristályrúd hozamát és végső minőségét.

A Veteksemicon SiC bevonatú epitaxiális reaktorkamra egy központi elem, amelyet az igényes félvezető epitaxiális növekedési folyamatokhoz terveztek. A fejlett kémiai gőzleválasztást (CVD) alkalmazva ez a termék sűrű, nagy tisztaságú SiC bevonatot képez nagy szilárdságú grafit hordozón, ami kiváló magas hőmérsékleti stabilitást és korrózióállóságot eredményez. Hatékonyan ellenáll a reaktáns gázok korrozív hatásainak magas hőmérsékletű folyamatkörnyezetekben, jelentősen elnyomja a szemcsés szennyeződést, egyenletes epitaxiális anyagminőséget és magas hozamot biztosít, valamint jelentősen meghosszabbítja a reakciókamra karbantartási ciklusát és élettartamát. Kulcsfontosságú választás a széles sávú félvezetők, például a SiC és a GaN gyártási hatékonyságának és megbízhatóságának javításához.

A Veteksemicon Silicon Cassette Boat egy precíziós tervezésű lapkahordozó, amelyet kifejezetten magas hőmérsékletű félvezető kemencékhez fejlesztettek ki, beleértve az oxidációt, diffúziót, behajtást és lágyítást. Az ultra-nagy tisztaságú szilíciumból készült és a fejlett szennyeződés-ellenőrzési szabványok szerint készült, így termikusan stabil, kémiailag inert platformot biztosít, amely szorosan illeszkedik a szilícium lapkák tulajdonságaihoz. Ez az igazítás minimálisra csökkenti a termikus feszültséget, csökkenti a csúszást és a hibák kialakulását, és kivételesen egyenletes hőeloszlást biztosít a teljes tételben