Nagy méretű ellenállásfűtéses SiC kristály növesztő kemence

Műszaki paraméterek

Alapvető előnyei

 ● Teljes méretű kompatibilitás

Lehetővé teszi a 6 hüvelykes, 8 hüvelykes és 12 hüvelykes szilícium-karbid kristályok stabil növekedését, teljesen kompatibilis a vezetőképes, félig szigetelő és N típusú anyagrendszerekkel. Lefedi a különböző specifikációjú termékek gyártási igényeit, és alkalmazkodik a különféle alkalmazási forgatókönyvekhez.

● Erős folyamatstabilitás

A 8 hüvelykes kristályok kiváló 4H politípusú konzisztenciával, stabil felületi formájúak és nagy ismételhetőségűek; a 12 hüvelykes szilícium-karbid kristálynövekedési technológia a nagy tömeggyártás megvalósíthatóságával végzett ellenőrzést.

● Alacsony kristályhiba-arány

A hőmérséklet, a nyomás és a teljesítmény pontos szabályozása révén a kristályhibák hatékonyan csökkenthetők a szabványoknak megfelelő kulcsmutatókkal – EPD=1435 ea/cm², BPD=381 ea/cm², TSD=0 ea/cm² és TED=1054 ea/cm². Minden hibajelző megfelel a magas minőségű kristályminőségi követelményeknek, jelentősen javítva a rúdhozamot.

● Szabályozható működési költségek

A hasonló termékek közül a legalacsonyabb az energiafogyasztása. Az alapelemek (például a hőszigetelő pajzsok) hosszú, 6-12 hónapos csereciklussal rendelkeznek, csökkentve az átfogó üzemeltetési költségeket.

● Plug-and-Play kényelem

Testreszabott receptúra ​​és folyamatcsomagok a berendezés jellemzői alapján, hosszú távú és több tételes gyártás során ellenőrizve, lehetővé téve az azonnali gyártást a telepítés után.

● Biztonság és megbízhatóság

A potenciális biztonsági veszélyek kiküszöbölése érdekében speciális íves szikragátló kialakítást alkalmaz; a valós idejű monitorozás és a korai figyelmeztető funkciók proaktívan elkerülik a működési kockázatokat.

● Kiváló vákuumteljesítmény

A végső vákuum- és nyomásemelkedési sebességmutatók meghaladják a nemzetközileg vezető szintet, tiszta környezetet biztosítva a kristálynövekedéshez.

● Intelligens üzemeltetés és karbantartás

Intuitív HMI interfészt tartalmaz átfogó adatrögzítéssel kombinálva, amely támogatja az opcionális távfelügyeleti funkciókat a hatékony és kényelmes termelésirányítás érdekében.

Az alapvető teljesítmény vizuális megjelenítése

A hőmérséklet-szabályozás pontossági görbéje

A kristálynövesztő kemence hőmérséklet-szabályozási pontossága ≤ ±0,3°C; A hőmérsékleti görbe áttekintése

Nyomásszabályozás pontossági grafikonja

A kristálynövesztő kemence nyomásszabályozási pontossága: 1,0 Torr, Nyomásszabályozási pontosság: 0,001 Torr

Teljesítménystabilitás Precízió

Stabilitás és konzisztencia a kemencék/tételek között: A teljesítmény stabilitási pontossága

A kristálynövekedés állapotában a teljesítményszabályozás pontossága stabil kristálynövekedés során ±0,15%.

Veteksemicon products shop