MOCVD SiC bevonatú szuszceptor

Műszaki paraméterek

CVD SIC FILM KRISTÁLYSZERKEZET

A termék meghatározása és összetétele

A VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor egy prémium lapka-hordozó alkatrész, amelyet kifejezetten harmadik generációs félvezetők, például GaN és SiC epitaxiális feldolgozására terveztek. Ez a termék két nagy teljesítményű anyag kiváló fizikai tulajdonságait egyesíti:

Nagy tisztaságú grafit szubsztrát: Izosztatikus préselési technológiával gyártva, hogy az alapanyag kivételes szerkezeti integritást, nagy sűrűséget és hőkezelési stabilitást biztosítson.

CVD SiC bevonat: Sűrű, feszültségmentes szilícium-karbid (SiC) védőréteget növeszt a grafit felületére a fejlett kémiai gőzleválasztás (CVD) technológia révén.

Miért a VETEK az Ön hozamgarancia?

Maximális pontosság a termikus egyenletesség szabályozásában: A hagyományos hordozókkal ellentétben a VETEK szuszceptorok nagymértékben szinkronizált hőátadást érnek el a teljes felületen a bevonat vastagságának és hőellenállásának nanométeres precíziós szabályozásával. Ez a kifinomult hőkezelés hatékonyan minimalizálja a hullámhossz szórást (STD) az ostya felületén, jelentősen javítva az egylapka minőségét és a teljes tétel konzisztenciáját.

Hosszú távú védelem részecskeszennyeződés nélkül: Az erősen korrozív gázokat tartalmazó MOCVD reakciókamrákban a közönséges grafit talapzatok hajlamosak a részecskék pelyhesedésére. A VETEK CVD SiC bevonata kivételes kémiai tehetetlenséggel rendelkezik, áthatolhatatlan pajzsként működik, amely lezárja a grafit mikropórusokat. Ez biztosítja a szubsztrátum szennyeződéseinek teljes elkülönítését, megakadályozva a GaN vagy SiC epitaxiális rétegek szennyeződését.

Kivételes fáradtságállóság és élettartam:A VETEK szabadalmaztatott felületkezelési eljárásának köszönhetően SiC bevonatunk optimalizált hőtágulási illeszkedést ér el a grafit szubsztrátummal. Még szélsőséges hőmérsékletek közötti nagyfrekvenciás hőciklus mellett is a bevonat kiváló tapadást tart fenn anélkül, hogy hámlás vagy mikrorepedések keletkeznének. Ez jelentősen csökkenti a pótalkatrészek karbantartásának gyakoriságát és csökkenti a teljes birtoklási költséget.

A műhelyünk