EPI támogatója

A Vetek Semiconductor egy professzionális vezető, Kína EPI, az ALD Planetary Tugor és a TAC bevonatú grafit támogató gyártója. és EPI -támogatásunk aepitaxiális növekedésA félvezető gyártási folyamatában. Fő funkciója az ostya támogatása és melegítése, hogy a magas színvonalú epitaxiális réteg egyenletesen termelhető legyen az ostya felületén.

A vetek félvezetők EPI-érzelmei általában nagy tisztaságú grafitból készülnek, és szilícium-karbidréteggel (SIC) borítják.Ennek a kialakításnak a következő kulcsfontosságú előnyei vannak:

● Magas hőmérsékleti stabilitás: Az EPI -susceptor magas hőmérsékleti környezetben stabil maradhat, biztosítva az epitaxiális réteg egyenletes növekedését.

● Korrózióállóság: A SIC bevonat kiváló korrózióállósággal rendelkezik, és ellenáll a kémiai gázok eróziójának, kiterjesztve a tálca élettartamát.

● Hővezető képesség: A SIC anyag nagy hővezető képessége biztosítja az ostya egyenletes hőmérséklet -eloszlását a melegítés során, ezáltal javítva az epitaxiális réteg minőségét.

● Termikus tágulási együttható egyeztetés: A SIC termikus tágulási együtthatója hasonló a grafitéhoz, elkerülve a bevonás problémáját a termikus tágulás és az összehúzódás miatt.

Alapvető fizikai tulajdonságaiCVD SIC bevonat:

CVD SIC bevonóbolt:

A félvezető chip -epitaxia ipari láncának áttekintése: