Termékek
SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez
  • SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hezSiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez
  • SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hezSiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez
  • SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hezSiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez

SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez

A hordó típusú epitaxiális ostyafűtési bázis bonyolult feldolgozási technológiával rendelkező termék, amely nagyon kihívást jelent a megmunkáló berendezések és képességek számára. A Vetek Semiconductor fejlett felszereléssel rendelkezik, és gazdag tapasztalatokkal rendelkezik a SIC bevonatú grafithordó-susceptor feldolgozásában, ugyanezt biztosíthatja, mint az eredeti gyári élettartam, költséghatékonyabb epitaxiális hordók. Ha érdekli az adatai, nem habozzon kapcsolatba lépni velünk.

A Vetek Semiconductor a kínai gyártó és beszállító, aki elsősorban SIC bevonattal ellátott grafit hordó -susceptor -t állít elő az EPI számára, sok éves tapasztalattal. Remélem, hogy üzleti kapcsolatot alakíthat ki veled.És (epitaxia)kritikus folyamat a fejlett félvezetők gyártásában. Ez magában foglalja a vékony anyagrétegek lerakódását egy szubsztráton, hogy komplex eszközszerkezeteket hozzon létre. A SIC bevonatú grafithordó -érzést az EPI -hez általában használják az EPI reaktorokban való érzőként, kiváló hővezető képességük és a magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállás miatt. VelCVD-SiC bevonat, ellenállóbbá válik a szennyeződésekkel, erózióval és hősokkokkal szemben. Ez a szuszceptor hosszabb élettartamát és jobb filmminőséget eredményez.


SiC bevonatú grafit hordó szuszceptorunk előnyei:


Csökkentett szennyeződés: A SiC inert természete megakadályozza, hogy szennyeződések tapadjanak a szuszceptor felületére, csökkentve a lerakódott filmek szennyeződésének kockázatát.

Fokozott eróziós ellenállás: A SIC szignifikánsan ellenáll az eróziónak, mint a hagyományos grafitnak, ami hosszabb élettartamot eredményez a Susceptor számára.

Jobb hőstabilitás: A SiC kiváló hővezető képességgel rendelkezik, és jelentős torzulás nélkül ellenáll a magas hőmérsékletnek.

Továbbfejlesztett filmminőség: A jobb hőstabilitás és a csökkentett szennyeződés jobb minőségű leválasztott filmeket eredményez, jobb egyenletességgel és vastagságszabályozással.


Alkalmazások:

A SIC bevonattal ellátott grafit hordószöveteket széles körben használják különféle EPI alkalmazásokban, ideértve a következőket is:

✔ Gan-alapú LED-ek

✔ Power Electronics

✔ Optoelektronikai eszközök

✔ Nagyfrekvenciás tranzisztorok

✔ Érzékelők

A SiC bevonatú grafithordó szuszceptor termékparamétere

Fizikai tulajdonságaiizosztatikus grafit
Ingatlan Egység Tipikus érték
Ömlesztett sűrűség g/cm³ 1.83
Keménység HSD 58
Elektromos ellenállás μΩ.m 10
Hajlító szilárdság MPA 47
Nyomószilárdság MPA 103
Szakítószilárdság MPA 31
Young's Modulus GPA 11.8
Hőtágulás (CTE) 10-6K-1 4.6
Hővezetőképesség W · m-1· K-1 130
Átlagos gabonaméret μm 8-10
Porozitás % 10
Ash tartalom ppm ≤10 (tisztítás után)

        Megjegyzés: Bevonás előtt az első tisztítást, a bevonat után a második tisztítást végezzük.

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan Tipikus érték
Kristályszerkezet FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
SiC bevonat Sűrűség 3,21 g/cm³
CVD SIC bevonat keménysége 2500 VICKERS keménység (500G terhelés bel
Szemcseméret 2 ~ 10 mm
Kémiai tisztaság 99,99995%
Hőkapacitás 640 J · kg-1· K-1
Szublimációs hőmérséklet 2700 ℃
Hajlító szilárdság 415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Hővezetőképesség 300W · m-1· K-1
Hőtágulás (CTE) 4,5×10-6K-1

VeTek SemiconductorSIC bevonattal ellátott grafit hordó -érzékeny az EPI -hezGyártóüzlet

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Hot Tags: SIC bevonattal ellátott grafit hordó -érzékeny az EPI -hez
Kérdés küldése
Elérhetőségei
Ha kérdése van a szilícium-karbid bevonattal, a tantál-karbid bevonattal, a speciális grafittal vagy az árlistával kapcsolatban, kérjük, hagyja nekünk e-mail-címét, és 24 órán belül felvesszük Önnel a kapcsolatot.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept