SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez

✔ Csökkentett szennyeződés: A SiC inert természete megakadályozza, hogy szennyeződések tapadjanak a szuszceptor felületére, csökkentve a lerakódott filmek szennyeződésének kockázatát.

✔ Fokozott eróziós ellenállás: A SIC szignifikánsan ellenáll az eróziónak, mint a hagyományos grafitnak, ami hosszabb élettartamot eredményez a Susceptor számára.

✔ Jobb hőstabilitás: A SiC kiváló hővezető képességgel rendelkezik, és jelentős torzulás nélkül ellenáll a magas hőmérsékletnek.

✔ Továbbfejlesztett filmminőség: A jobb hőstabilitás és a csökkentett szennyeződés jobb minőségű leválasztott filmeket eredményez, jobb egyenletességgel és vastagságszabályozással.

✔ Gan-alapú LED-ek

✔ Power Electronics

✔ Optoelektronikai eszközök

✔ Nagyfrekvenciás tranzisztorok

✔ Érzékelők

A SiC bevonatú grafithordó szuszceptor termékparamétere

        Megjegyzés: Bevonás előtt az első tisztítást, a bevonat után a második tisztítást végezzük.

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai