SiC bevonatú hordó szuszceptor LPE PE2061S-hez

A Vetek Semiconductor egy professzionális porcelán SIC bevonatú hordószövetségLPE PE2061Sgyártó és szállító.

Az LPE PE2061-ek Vetek Semiconductor SIC-bevonatú hordószövetelője egy nagyteljesítményű termék, amelyet finom szilícium-karbid finom rétegének felhasználásával hoztak létre az erősen tisztított izotrop grafit felületére. Ezt a Vetek Semiconductor védelmezőjén keresztül érik elKémiai gőzleválasztás (CVD)folyamat.

Az LPE PE2061S-hez készült SiC bevonatú hordó szuszceptorunk egyfajta CVD epitaxiális lerakódású hordóreaktor, amelyet úgy terveztek, hogy megbízható teljesítményt nyújtson extrém környezetben. Kivételes bevonattapadása, magas hőmérsékletű oxidációval szembeni ellenállása és korrózióállósága kiváló választássá teszik zord körülmények közötti használatra. Ezenkívül egyenletes hőprofilja és lamináris gázáramlási mintája megakadályozza a szennyeződést, így biztosítva a kiváló minőségű epitaxiális növekedést.

A félvezetőnk hordó alakú kialakításaepitaxiális reaktorOptimalizálja a lamináris gázáramlási mintákat, biztosítva az egyenletes hőeloszlást. Ez segít megelőzni a szennyeződések szennyeződését vagy diffúzióját,kiváló minőségű epitaxiális növekedés biztosítása ostyahordozón.

Elkötelezettek vagyunk azért, hogy ügyfeleink számára kiváló minőségű, költséghatékony termékeket biztosítson. CVD SIC bevonattal ellátott hordószövetségünk az ár versenyképességének előnyeit nyújtja, miközben kiváló sűrűséggel rendelkezik mindkét esetbengrafit szubsztrátumésszilícium karbid bevonatmegbízható védelmet nyújt magas hőmérsékletű és korrozív munkakörnyezetben.

A CVD SIC film kristályszerkezetének SEM adatai:

A SiC bevonatú hordó szuszceptor az egykristály növekedéshez nagyon magas felületi simaságot mutat.

Minimalizálja a hőtágulási együttható különbségét a grafit szubsztrátum és

szilícium-karbid bevonat, amely hatékonyan javítja a kötési szilárdságot és megakadályozza a repedést és a rétegválást.

Mind a grafit szubsztrát, mind a szilícium-karbid bevonat magas hővezető képességgel és kiváló hőeloszlási képességekkel rendelkezik.

Magas olvadáspontja van, magas hőmérsékletenoxidációs ellenállás, éskorrózióállóság.