Ostyatartó VEECO MOCVD (LED Epitaxy) számára

Termékjellemzők:

1. Nagy tisztaságú grafit alap, sűrű CVD SiC réteggel
2. Jó termikus egyenletesség a stabil LED-epitaxiához
3. Ellenáll az NH3-nak, HCl-nek és a folyamatban használt egyéb korrozív gázoknak
4. Alacsony részecskevesztés és hosszú élettartam
5. A zsebkialakítások testreszabhatók a különböző szeletméretekhez és reaktorplatformokhoz
6. Jól működik hosszú távú, magas hőmérsékletű MOCVD működéshez

Alkalmazások:
Ezeket az ostyahordozókat széles körben használják a LED-es és összetett félvezető epitaxiában, beleértve:

• GaN LED epitaxia
• Kék-zöld LED epitaxia
• Mély UV LED növekedés
• Si-alapú GaN epitaxia
• Általános összetett félvezető gyártás

Az egyedi hordozómegoldások több LED MOCVD platformhoz illeszkednek, mint például:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Technikai előnyök:

1. CVD SiC bevonattechnológia, amely jó sűrűséget és tisztaságot biztosít
2. A bevonat vastagságának változása ±10 μm-en belül marad – segít a hőteljesítmény stabil maradásában
3. CNC megmunkálás 3 μm-es pontossággal a jó lapka illeszkedés és forgási stabilitás érdekében
4. A bevonat jól tapad és ellenáll a repedésnek ismételt magas hőmérsékletű MOCVD ciklusok után
5. Gond nélkül kezeli az NH₃-t, HCl-t és más durva epitaxiás környezeteket
6. Alacsony részecskeképződés és tiszta felület a nagy hozam támogatása érdekébenLED epitaxia
7. Nagy vagy egyedi méretek bevonására alkalmas különböző reaktorplatformokhoz és szeletelrendezésekhez
8. Hosszú tapasztalattalegyedi grafit és SiC bevonatú alkatrészekLED és összetett félvezető epitaxiához

GYIK:
1. Mit csinál az ostyahordozóMOCVDLED epitaxia?

V: Megtartja és forgatja az ostyákat a MOCVD reaktorban, és segít egyenletesen tartani a hőmérsékletet az epitaxiális növekedés során.

2. Miért érdemes SiC bevonatú grafit lapkahordozókat használni MOCVD-hez?

V: ACVD SiC bevonatjobb korrózióállóságot, hőstabilitást és tartósságot biztosít. Ezenkívül segít csökkenteni a részecskék szennyeződését a magas hőmérsékletű epitaxiában.

3. A Vetek Semiconductor gyárt egyedi szelethordozókat?
V: Igen. Egyedi hordozókat tervezhetünk az Ön reaktorplatformja, szeletmérete, zsebelrendezése és egyéb folyamatigényei alapján.