CVD szilícium-karbid (SiC) bevonatú grafit RTP RTA hordozó

Termékjellemzők

· Alapfelszereltség:Rapid Thermal Healing (RTA) és Rapid Thermal Processing (RTP) rendszerekhez tervezték.

· Primary Aalkalmazás: A félvezető lapkák lágyítási folyamataihoz optimalizálva.

· Opeértékelés Tehőmérséklet:Stabil működés 200°C és 700°C között.

· Excellent Thermal egységesség: Egyenletes hőeloszlást biztosít a konzisztens ostyafeldolgozás érdekében.

· Alacsony részecskeGgeneráció: A sűrű CVD SiC bevonat minimálisra csökkenti a szennyeződést és javítja a termelési hozamot.

· Kiváló vegyszerállóság:Ellenáll az oxidációnak és a korrozív folyamatgázoknak a termikus feldolgozás során.

· Kiemelkedőg Thermal ütésállóság: Ismételt gyors fűtési és hűtési ciklusokkal megőrzi szerkezeti integritását.

· Hosszú élettartam:A kopásálló SiC bevonat jelentősen meghosszabbítja az alkatrészek élettartamát és csökkenti a karbantartási költségeket.

· SzokásGyártás:Különféle méretekben és konfigurációkban kapható, hogy megfeleljen a különböző RTP/RTA berendezéseknek.

Műszaki előírások

Alkalmazások

·Gyors hőkezelés (RTA)

· Rapid Thermal Processing (RTP)

· Szilícium ostya lágyítás

· Adalékanyag aktiválása

· Oxidáció

· Diffúzió

·Összetett félvezető gyártás

·MEMS gyártás

·Teljesítmény félvezető feldolgozás

GYIK

1. Mi az RTP/RTA vivő?

Az RTP/RTA Carrier egy szelettartó komponens, amelyet gyors hőfeldolgozási és gyors hőkezelési rendszerekben használnak. Biztonságosan tartja a félvezető lapkákat, miközben egyenletes hőátadást biztosít a teljes termikus ciklus során.

2. Miért előnyös a CVD SiC bevonat?

A csupasz grafittal összehasonlítva a CVD SiC bevonat kiváló oxidációs ellenállást, alacsonyabb részecskeképződést, jobb kémiai stabilitást és jelentősen hosszabb élettartamot kínál.

3. Tud a VETEK testreszabott RTP/RTA szolgáltatókat biztosítani?

Igen. A VETEK az ügyfél rajzai alapján testreszabott RTP/RTA hordozókat kínál.