Függőleges kemence SiC bevonatú gyűrű

A függőleges kemencékben a SiC bevonatú gyűrűk használata elterjedt megoldás, főként a magas hőmérsékletű hőkezelési folyamatokbanfélvezető lapkák- A függőleges kemencékkel bevont gyűrűk nagy teljesítményűek, magas hőmérsékletű ellenálló alkatrészek, amelyeket az ostyák támogatására vagy védelmére használnak a folyamat stabilitásának és megbízhatóságának biztosítása érdekében.

A függőleges kemence SiC bevonatú gyűrű funkciói

● Funkciók

Támogató szerep. Az ostyák támogatására szolgál, hogy biztosítsák azok stabilitását és pontos helyzetét a magas hőmérsékletű kemencékben.

●  Korrózióvédelem

Megakadályozzák a korrozív gázok vagy vegyi anyagok alapanyagának korrodálását.

●  Csökkentse a szennyezést

A nagy tisztaságú SIC bevonat hatékonyan megakadályozhatja a részecskék leválasztását és a szennyeződés szennyeződését a folyamat tisztaságának biztosítása érdekében.

●  Magas hőmérsékleti ellenállás

Fenntartja a kiváló mechanikai tulajdonságokat és a méret stabilitását a magas hőmérsékletű környezetben (általában 1000 ° C felett).

A függőleges kemence SiC bevonatú gyűrű tulajdonságai

●  Nagy keménység és erő

A SIC anyagok kiváló mechanikai szilárdsággal rendelkeznek, és ellenállnak a kemencében a magas hőmérsékleten.

●  Jó hőstabilitás

A SiC magas hővezető képessége és alacsony hőtágulási együtthatója segít csökkenteni a hőterhelést.

●  Erős kémiai stabilitás

A SIC bevonatok ellenállhatnak a korróziónak az oxidáló, savas vagy lúgos környezetben.

●  Alacsony részecskeszennyeződés

A sima felület csökkenti a részecské kialakulásának lehetőségét, ami különösen alkalmas a félvezető gyártás ultra-tiszta környezetére.

Diffúzióhoz, oxidációhoz, lágyításhoz és más függőleges kemencékben alkalmazott folyamatokhoz használják a szilícium ostyák támogatására és a részecskék szennyeződésének megakadályozására a hőkezelés során.

Gyártási anyagok és folyamatok

● Szubsztrát: Kiváló minőségű SGL grafitból készül, a minőség garantált.

●  Bevonat: A szilícium-karbid bevonatot kémiai gőzleválasztással (CVD) hordják fel a grafit felületére.

● A bevonat vastagsága általában 50 ~ 500 μm között van, amelyet a felhasználási követelmények szerint állítanak be.

●  A kémiai gőzfázisú SiC bevonat tisztasága és sűrűsége nagyobb, valamint tartósabb.

Válassza ki a megfelelőtSiC bevonatGyűrű a kemencében lévő szilícium ostya átmérője és a hordozó specifikációi szerint. Testreszabhatjuk az Ön számára. A magas tisztaság, a sűrű bevonat tartósabb és kevésbé szennyező. Szorosan cserélje ki a felhasználás gyakoriságát és a folyamatkövetelményeket, hogy elkerüljék a szennyeződést vagy a bevonat öregedéssel járó támogatási kudarcot.

Professzionális függőleges kemence SiC bevonatú gyűrűszállítóként és gyártóként Kínában a VeTek Semiconductor régóta elkötelezett amellett, hogy fejlett függőleges kemencetechnológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Őszintén várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.

CVD SIC film kristályszerkezet

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai

VeTek SemiconductorFüggőleges kemence SiC bevonatú gyűrűs üzletek: