SiC Coating Epi vevő

A Vetek Semiconductor a SiC Coating Epi Receptor professzionális gyártója Kínában.

A Vetek Semiconductor SIC bevonó EPI -susceptor grafitból és szilícium -karbidból készül. Ez a SIC bevonó termék importált grafitot használ, amely stabilabb teljesítményű és hosszú élettartamú, és európai és amerikai ügyfeleink nagyon dicsérik. Ugyanakkor a SIC bevonat EPI -susceptor koncentrációja 5ppm alatt van, és az egységesség nagyon jó. A folyamatos technológiai frissítések után a Vetek Semiconductor új eljárást alkalmaz, hogy jó egyezést hozzon létre a SIC bevonat és a grafit anyagok termikus tágulási együtthatója között.

A SIC bevonó EPI -susceptor -ot kifejezetten magas hőmérsékleten és korrozív környezetben használják félvezető berendezésekben. A SIC bevonó EPI -susceptor -ot általában olyan berendezésekben használják, mint az Aixtron, különösen a mély ultraibolya epitaxi (DUV epitaxy) folyamatban, amely kulcsszerepet játszik.

A mély ultraibolya epitaxis (DUV epitaxi) folyamatban, a SIC bevonó EPI -susceptor kiváló magas hőmérsékleti ellenállásával és korróziós rezisztenciájával kombinálva, az EPI Susceptor körül általában az Aixtron berendezésben az epitaxia folyamatában az epitaxia folyamatában telepítik. a berendezés károsítása vagy szennyeződése.

Ezt a SiC bevonatú Epi szuszceptort mély ultraibolya epitaxiára tervezték. Szigorúan ellenőrizzük a szilícium-karbid bevonatot, beépítjük a pufferréteg-technológiát, hogy csökkentsük a grafit és a szilícium-karbid bevonatok közötti hőtágulási együtthatók különbségei által okozott problémákat, így meghosszabbítva a termék élettartamát. Jelenleg termékünk számos elismerésben részesült, és a hazai piacon a legjobbak között tartják számon.

Mint a SIC bevonó termékek ipari vezetője, a Vetek Semiconductor támogatja a termékek testreszabási szolgáltatásait és a kielégítő termékárakat, és várakozással tekint a további konzultációra.

A CVD SIC film SEM adata:

Vetek Semiconductor SIC bevonó szoknya termékek üzletek:

A félvezető chipek epitaxiás ipari láncának áttekintése: