Nagy tisztaságú kvarc ostyacsónak

A VeTek Semiconductor nagy tisztaságú kvarc ostyahajója ultra-nagy tisztaságú kvarcból készül, amelynek jellemzői az alacsony hidroxiltartalom, a nagy tisztaság és az erős magas hőmérséklet-állóság. Ezt az anyagot a félvezetőiparban is széles körben használják diffúziós kemencék és CVD kemence alkatrészek anyagaként. A szilícium ostyák szállítására szolgáló tartályként a nagy tisztaságú kvarc ostyát félvezető, fotovoltaikus, vegyi és egyéb területeken használták.

Alkalmazási forgatókönyvek

Az első a félvezető mező.

A kötegelt kemence magcsöveit félvezető ostya -feldolgozási folyamatokhoz, például termikus oxidációhoz, magas hőmérsékletű diffúzióhoz, lágyításhoz és vékonyréteg -lerakódáshoz használják. A kötegelt fűtési kemencét elsősorban a kemence testének tekercsek melegítésére használják a hőkezelés befejezéséhez. A különböző működő szerkezetek szerint a kötegelt kemence magcsöveit vízszintes kemencékre és függőleges kemencékre lehet osztani:

(1) A vízszintes kemence nagy tisztaságú kvarc ostyacsónakját vízszintesen helyezzük el, tehát vízszintes kemencének hívják.

A hőkezelési folyamat során az ostyát a nagy tisztaságú kvarc ostya hajóra töltik, lassan a kvarc kemence csőbe küldik, és az ostyát egy állandó hőmérsékletű zónába helyezik a feldolgozáshoz. Miután megvárta a folyamat befejezését, a Wafer használt kvarccsónakot lassan kihúzzák a kvarckemencéből, nehogy az ostya megsérüljön a hirtelen hőmérséklet-változások miatt. A vízszintes kemencéket széles körben használják a 200 mm-nél kisebb szeletátmérőjű integrált áramkörök diffúziós folyamatában. 

A vízszintes kemencék előnyei az egyszerű folyamat, az ostyák közötti jó egységesség és a több ostya feldolgozásának képessége. A hátrányok a lassú fűtési sebesség, a nagy berendezések mérete, az automatizálási nehézség és a külső levegő könnyű belépése az ostyák berakása és kirakodásakor.

(2) A függőleges kemence nagy tisztaságú kvarc ostyahajója függőlegesen van elhelyezve, ezért függőleges kemencének nevezik.

Az ostyát a kvarc toronyba töltik, és lassan felemelkedik a kvarckemence csövébe melegítés céljából. A melegítési folyamat során a nagy tisztaságú kvarc ostyahajó lassan forog, hogy biztosítsa az ostya egyenletes felmelegedését. A feldolgozás után a kvarc torony lassan leereszkedik, hogy elkerülje a hőmérséklet-változásokat, amelyek károsíthatják az ostyát. A függőleges kemencéket főként a 200 mm és 300 mm átmérőjű lapkák integrált áramköri folyamatában használják. A függőleges kemencék alapvető technológiája a nagy pontosságú hőmérséklet-térszabályozásban, a részecskeszabályozásban, a mikrokörnyezet mikro-oxigén szabályozásában és a motorizálásban rejlik. A függőleges kemencék előnyei a vékony természetes oxidréteg, a jó egyenletesség, a könnyebb automatizálás, a kis berendezési terület és a szakaszos feldolgozás. Hátránya, hogy a fűtési sebesség lassú.

A fotovoltaikus mezőben a fotovoltaikus sejtek termelési folyamata megköveteli a kvarccsónakok számára, hogy szilikon ostyákat szállítsanak és szállítsák a magas hőmérsékletű diffúziós folyamatban. A magas hőmérsékletű nitrogén, oxigén vagy más inert gáz atmoszférában, például a foszfor diffúzióban vagy a bór-diffúzióban, a magas hőmérsékletű kezelés fontos lépés a napelemek gyártási folyamatában. A cél az, hogy PN csomópontot képezzen a szilícium ostyán.

A kvarccsónak belsejében pontosan megtervezett nyílások vannak, amelyek biztosítják, hogy a szilíciumlapka megtartsa a pontos pozíciót a magas hőmérsékletű diffúziós folyamat során, és egyenletesen melegedjen. Mivel a kvarcanyag jó magas hőmérsékleti ellenállással és kémiai stabilitással rendelkezik, nem szennyezi a szilícium ostyát, ami elősegíti a gyártási környezet magas szintű tisztaságának fenntartását.

Innovátorként és vezetőként a kínai ostya által használt kvarc hajópiacon, függetlenül attól, hogy a félvezető iparban vagy a fotovoltaikus iparban foglalkozik, mindaddig, amíg szüksége van nagy tisztaságú kvarc ostyacsónakra, kérjen ajánlatot, és képesek vagyunk testreszabni, és képesek leszünk testreszabni. Ez az Ön igényeinek megfelelően.

VeTek Semiconductor Termékek üzletek: