Nagy tisztaságú átlátszatlan kvarc pajzs és redőny MOCVD-hez

1. Műszaki előírások

Az Ön műszaki rajzai alapján nagy pontosságú megmunkálást biztosítunk, hogy tökéletes illeszkedést biztosítsunk az Ön konkrét berendezésmodelljéhez.

2. Alapvető alkalmazási területek

● MOCVD folyamatvédelem: Alapvető belső pajzsként/bélésként szolgál a reakciókörnyezet védelmében.

● Félvezető epitaxia: Nagy pontosságú redőnyökként használják az áramlás és a hőmérséklet stabilizálására vékonyréteg-növekedés során.

● Szélessávú félvezető gyártás: Kompatibilis a GaN és más fejlett anyagok nagy igényű környezeteivel.

3. Miért válassza a VETEK Quartz Solutions-t?

● Kiváló hősugárzás-kezelés: Tejfehér kvarcunk nagy sűrűségű mikrobuborékokat tartalmaz, amelyek hatékonyan szórják és blokkolják a magas hőmérsékletű hősugárzást (>1000°C). Elnyeli a fűtőelemek látható és közeli infravörös fényét, és távoli infravörös sugárzássá alakítja, így biztosítva a rendkívül egyenletes fűtést.
● Szennyeződés-ellenőrzés és egyszerű karbantartás: Feláldozható vagy cserélhető belső bélésként a Quartz Shield tisztán tartja a reakciókamrát azáltal, hogy megakadályozza a melléktermékek lerakódását a drága kamrafalakon és a fűtőtesteken. Ezek az alkatrészek nedves tisztítással regenerálhatók (például SPM+DHF oldatok), vagy könnyen cserélhetők a magas lapkahozam érdekében.
● Extrém kémiai ellenállás: A VETEK kvarcot úgy tervezték, hogy ellenálljon a gyakori hőciklusoknak, és ellenálljon a fémorganikus anyagok (például TMGa) és hidridek (például AsH₃) korróziójának.
● Precíziós folyamatvezérlés: Kvarc redőnyeink nagy méretstabilitást tartanak fenn infravörös vagy izzószálas fűtés mellett. Alacsony termikus tehetetlenségük gyors mechanikai reakciót tesz lehetővé, lehetővé téve a precíz "atomi szintű" növekedésszabályozást, és megakadályozza a keresztszennyeződést a több szelet vagy több folyamat közötti váltás során.
● Költséghatékony alternatíva: A szigorú költségvetési követelményeket támasztó projekteknél a kvarc termékeink megbízható belépési pontot biztosítanak a bevont grafithoz képest, alapvető védelmet és funkcionalitást kínálva a MOCVD rendszerek számára.