EPI vevő alkatrészek

Általános termékinformációk

A termék üzleti feltételei

✔ Alkalmazás: A SiC epitaxiális folyamatokban a maximális teljesítmény és hozam elérése érdekében a Veteksemicon EPI Susceptor kiváló termikus stabilitást és egyenletességet biztosít, kulcsfontosságú támogatást nyújtva a teljesítmény- és rádiófrekvenciás eszközök teljesítményének javításához és az általános költségek csökkentéséhez.

✔ Nyújtható szolgáltatások: ügyfélalkalmazási forgatókönyv elemzés, anyagok egyeztetése, műszaki problémamegoldás. 

✔ Vállalati profil：A Veeteksemicon 2 laboratóriummal, 20 éves anyagi tapasztalattal rendelkező szakértői csapattal rendelkezik, K+F és gyártási, tesztelési és ellenőrzési képességekkel.

Veteksemicon EPI Contractor Part alapvető előnyei

1. Biztosítsa a végső egységességet

A szilícium-karbid epitaxiális eljárásokban még a mikron szintű vastagság-ingadozások és az adalékolás inhomogenitása is közvetlenül befolyásolja a végső eszköz teljesítményét és hozamát. A Veteksemicon EPI Susceptor a precíz termodinamikai szimuláció és szerkezeti tervezés révén optimális termikus téreloszlást ér el a reakciókamrán belül. A nagy hővezető képességű hordozó választékunk egyedülálló felületkezelési eljárással kombinálva biztosítja, hogy az ostya felületének bármely pontján a hőmérséklet-különbségeket rendkívül kis tartományban szabályozzuk még nagy sebességű forgás és magas hőmérsékletű környezetben is. Ennek közvetlen értéke a kiválóan reprodukálható, tételenkénti epitaxiális réteg, amely kiváló egyenletességgel rendelkezik, szilárd alapot teremtve a nagy teljesítményű, rendkívül konzisztens teljesítményű chipek gyártásához.

2. Ellenállni a magas hőmérséklet kihívásainak

A SiC epitaxiális folyamatok jellemzően hosszan tartó működést igényelnek 1500 °C feletti hőmérsékleten, ami komoly kihívást jelent minden anyag számára. A Veteksemicon Susceptor speciálisan kezelt, izosztatikusan préselt grafitot használ, amelynek magas hőmérsékletű hajlítószilárdsága és kúszási ellenállása messze meghaladja a közönséges grafitét. Termékünk több száz órányi folyamatos, magas hőmérsékletű hőciklus után is megőrzi kezdeti geometriáját és mechanikai szilárdságát, hatékonyan megelőzve az ostyák vetemedését, elcsúszását, vagy a tálca deformációjából adódó folyamatüreg-szennyeződés kockázatát, alapvetően biztosítva a gyártási tevékenységek folyamatosságát és biztonságát.

3. Maximalizálja a folyamat stabilitását

A gyártási megszakítások és a nem tervezett karbantartás jelentős költséggyilkosok az ostyagyártásban. A Veteksemicon a folyamatstabilitást a Susceptor alapvető mérőszámának tekinti. Szabadalmaztatott CVD SiC bevonatunk sűrű, nem porózus, és tükörszerűen sima felületű. Ez nem csak jelentősen csökkenti a részecskék leválását magas hőmérsékletű légáram alatt, hanem jelentősen lelassítja a reakció melléktermékeinek (például polikristályos SiC) tapadását a tálca felületéhez. Ez azt jelenti, hogy a reakciókamra hosszabb ideig tiszta maradhat, meghosszabbítva a rendszeres tisztítás és karbantartás közötti intervallumokat, ezáltal javítva a berendezés általános kihasználtságát és teljesítményét.

4. Hosszabbítsa meg az élettartamot

Fogyóelemként a szuszceptorok cseréjének gyakorisága közvetlenül befolyásolja a termelési működési költségeket. A Veteksemicon kettős technológiai megközelítésével meghosszabbítja a termék élettartamát: "hordozó optimalizálása" és "bevonatjavítás". A nagy sűrűségű, kis porozitású grafit szubsztrátum hatékonyan lassítja a folyamatgázok behatolását és korrózióját az aljzatba; Ezzel egyidejűleg vastag és egyenletes SiC bevonatunk robusztus gátként működik, jelentősen elnyomva a szublimációt magas hőmérsékleten. A valós tesztelés azt mutatja, hogy azonos folyamatkörülmények között a Veteksemicon szuszceptorok teljesítménye lassabb leromlási sebességgel és hosszabb effektív élettartammal rendelkezik, ami alacsonyabb szeletenkénti működési költségeket eredményez.

5. Ökológiai lánc hitelesítési jóváhagyás

A Veteksemicon EPI Susceptor Part ökológiai láncellenőrzése kiterjed a nyersanyagokra a gyártásig, átesett a nemzetközi szabványos tanúsítványon, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik, amelyek biztosítják megbízhatóságát és fenntarthatóságát a félvezető- és az új energiaterületeken.

A részletes műszaki leírásokért, tanulmányokért vagy mintavizsgálati megállapodásokért forduljon műszaki támogatási csoportunkhoz, hogy megtudja, hogyan javíthatja a Veteksemicon a folyamatok hatékonyságát.

Fő alkalmazási területek

Veteksemicon termékek raktár