Termékek
CVD SIC fókusz gyűrű
  • CVD SIC fókusz gyűrűCVD SIC fókusz gyűrű

CVD SIC fókusz gyűrű

A Vetek Semiconductor a CVD SIC fókuszgyűrűk vezető háztartási gyártója és szállítója, amelynek célja a nagy teljesítményű, nagy megbízható termékmegoldások biztosítására a félvezető ipar számára. A Vetek Semiconductor CVD SIC fókuszgyűrűi fejlett kémiai gőzlerakódási (CVD) technológiát használnak, kiváló hőmérsékleti ellenállással, korrózióállósággal és hővezető képességgel rendelkeznek, és széles körben használják a félvezető litográfiai folyamatokban. Érdeklődéseit mindig szívesen látjuk.

A modern elektronikus eszközök és az információs technológia alapjául a félvezető technológia a mai társadalom nélkülözhetetlen részévé vált. Az okostelefonoktól a számítógépekig, a kommunikációs berendezésekig, az orvosi berendezésekig és a napelemekig szinte az összes modern technológia támaszkodik a félvezető eszközök gyártására és alkalmazására.


Mivel az elektronikus eszközök funkcionális integrációjára és teljesítményére vonatkozó követelmények továbbra is növekednek, a félvezető folyamat technológiája szintén folyamatosan fejlődik és javul. Mint a félvezető technológiában szereplő alapkapcsolat, a maratási folyamat közvetlenül meghatározza az eszköz szerkezetét és jellemzőit.


A maratási folyamatot a félvezető felületén lévő anyag pontos eltávolítására vagy beállítására használják, hogy kialakítsák a kívánt szerkezetet és az áramkör mintáját. Ezek a struktúrák meghatározzák a félvezető eszközök teljesítményét és funkcionalitását. A maratási folyamat eléri a nanométerszintű pontosságot, ami alapja a nagy sűrűségű, nagy teljesítményű integrált áramkörök (ICS) gyártásának.


A CVD SIC fókuszgyűrű a száraz maratás alapvető alkotóeleme, főként a plazmának fókuszálására, hogy nagyobb sűrűségű és energiájú legyen az ostya felületén. Az egyenletesen elosztó gáz funkciója. A Vetek Semiconductor rétegenként növeli a SIC réteget a CVD folyamaton keresztül, és végül megkapja a CVD SIC fókusz gyűrűt. Az elkészített CVD SIC fókuszgyűrű tökéletesen megfelel a maratási folyamat követelményeinek.


CVD SiC Focus Ring working diagram

A CVD SIC fókusz gyűrű kiválóan alkalmas mechanikai tulajdonságokban, kémiai tulajdonságokban, hővezető képességben, magas hőmérséklet -ellenállásban, ion maratási ellenállásban stb.


● Nagy sűrűségcsökkenti a maratási térfogatot

● Magas sávú rés és kiváló szigetelés

● Nagy hővezető képesség, alacsony tágulási együttható és hő sokk ellenállás

● Nagy rugalmasság és jó mechanikai ütésállóság

● Nagy keménység, kopásállóság és korrózióállóság


A Vetek Semiconductor a vezető CVD SIC fókuszgyűrű -feldolgozási képességekkel rendelkezik Kínában. Eközben a Vetek Semiconductor érett műszaki és értékesítési csapata segít nekünk az ügyfelek számára a legmegfelelőbb fókuszgyűrűs termékek számára. A Vetek Semiconductor kiválasztása azt jelenti, hogy partneri partnerkapcsolat, amely elkötelezte magát a határok tolásáraCVD szilícium -karbid innováció.


A minőség, a teljesítmény és az ügyfelek elégedettségének nagy hangsúlyozása mellett olyan termékeket szállítunk, amelyek nemcsak megfelelnek, hanem meghaladják a félvezető ipar szigorú igényeit. Segítsünk a nagyobb hatékonyság, megbízhatóság és siker elérésében a fejlett CVD szilícium -karbid -megoldásokkal.


A CVD SIC film SEM adatai

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan
Tipikus érték
Kristályszerkezet
FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
SIC bevonat sűrűsége
3,21 g/cm³
Sic bevonat keménység
2500 VICKERS keménység (500G terhelés bel
Szemcseméret
2 ~ 10 mm
Kémiai tisztaság
99,99995%
Hőkapacitás
640 J · kg-1· K-1
Szublimációs hőmérséklet
2700 ℃
Hajlító szilárdság
415 MPA RT 4-Pont
Young modulus
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Hővezető képesség
300w · m-1· K-1
Hőtágulás (CTE)
4,5 × 10-6K-1

VeTek SemiconductorCVD SIC Focus Ring Products üzletek:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: CVD SIC fókusz gyűrű
Kérdés küldése
Elérhetőségei
Ha kérdése van a szilícium-karbid bevonattal, a tantál-karbid bevonattal, a speciális grafittal vagy az árlistával kapcsolatban, kérjük, hagyja nekünk e-mail-címét, és 24 órán belül felvesszük Önnel a kapcsolatot.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept