Termékek
CVD SIC fókusz gyűrű
  • CVD SIC fókusz gyűrűCVD SIC fókusz gyűrű

CVD SIC fókusz gyűrű

A Vetek Semiconductor a CVD SIC fókuszgyűrűk vezető háztartási gyártója és szállítója, amelynek célja a nagy teljesítményű, nagy megbízható termékmegoldások biztosítására a félvezető ipar számára. A Vetek Semiconductor CVD SIC fókuszgyűrűi fejlett kémiai gőzlerakódási (CVD) technológiát használnak, kiváló hőmérsékleti ellenállással, korrózióállósággal és hővezető képességgel rendelkeznek, és széles körben használják a félvezető litográfiai folyamatokban. Érdeklődéseit mindig szívesen látjuk.

A modern elektronikus eszközök és az információs technológia alapjául a félvezető technológia a mai társadalom nélkülözhetetlen részévé vált. Az okostelefonoktól a számítógépekig, a kommunikációs berendezésekig, az orvosi berendezésekig és a napelemekig szinte az összes modern technológia támaszkodik a félvezető eszközök gyártására és alkalmazására.


Mivel az elektronikus eszközök funkcionális integrációjára és teljesítményére vonatkozó követelmények továbbra is növekednek, a félvezető folyamat technológiája szintén folyamatosan fejlődik és javul. Mint a félvezető technológiában szereplő alapkapcsolat, a maratási folyamat közvetlenül meghatározza az eszköz szerkezetét és jellemzőit.


A maratási folyamatot a félvezető felületén lévő anyag pontos eltávolítására vagy beállítására használják, hogy kialakítsák a kívánt szerkezetet és az áramkör mintáját. Ezek a struktúrák meghatározzák a félvezető eszközök teljesítményét és funkcionalitását. A maratási folyamat eléri a nanométerszintű pontosságot, ami alapja a nagy sűrűségű, nagy teljesítményű integrált áramkörök (ICS) gyártásának.


A CVD SIC fókuszgyűrű a száraz maratás alapvető alkotóeleme, főként a plazmának fókuszálására, hogy nagyobb sűrűségű és energiájú legyen az ostya felületén. Az egyenletesen elosztó gáz funkciója. A Vetek Semiconductor rétegenként növeli a SIC réteget a CVD folyamaton keresztül, és végül megkapja a CVD SIC fókusz gyűrűt. Az elkészített CVD SIC fókuszgyűrű tökéletesen megfelel a maratási folyamat követelményeinek.


CVD SiC Focus Ring working diagram

A CVD SIC fókusz gyűrű kiválóan alkalmas mechanikai tulajdonságokban, kémiai tulajdonságokban, hővezető képességben, magas hőmérséklet -ellenállásban, ion maratási ellenállásban stb.


● Nagy sűrűségcsökkenti a maratási térfogatot

● Magas sávú rés és kiváló szigetelés

● Nagy hővezető képesség, alacsony tágulási együttható és hő sokk ellenállás

● Nagy rugalmasság és jó mechanikai ütésállóság

● Nagy keménység, kopásállóság és korrózióállóság


A Vetek Semiconductor a vezető CVD SIC fókuszgyűrű -feldolgozási képességekkel rendelkezik Kínában. Eközben a Vetek Semiconductor érett műszaki és értékesítési csapata segít nekünk az ügyfelek számára a legmegfelelőbb fókuszgyűrűs termékek számára. A Vetek Semiconductor kiválasztása azt jelenti, hogy partneri partnerkapcsolat, amely elkötelezte magát a határok tolásáraCVD szilícium -karbid innováció.


A minőség, a teljesítmény és az ügyfelek elégedettségének nagy hangsúlyozása mellett olyan termékeket szállítunk, amelyek nemcsak megfelelnek, hanem meghaladják a félvezető ipar szigorú igényeit. Segítsünk a nagyobb hatékonyság, megbízhatóság és siker elérésében a fejlett CVD szilícium -karbid -megoldásokkal.


A CVD SIC film SEM adatai

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan
Tipikus érték
Kristályszerkezet
FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
SIC bevonat sűrűsége
3,21 g/cm³
Sic bevonat keménység
2500 VICKERS keménység (500G terhelés bel
Szemcseméret
2 ~ 10 mm
Kémiai tisztaság
99,99995%
Hőkapacitás
640 J · kg-1· K-1
Szublimációs hőmérséklet
2700 ℃
Hajlító szilárdság
415 MPA RT 4-Pont
Young modulus
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Hővezető képesség
300w · m-1· K-1
Hőtágulás (CTE)
4,5 × 10-6K-1

VeTek SemiconductorCVD SIC Focus Ring Products üzletek:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: CVD SIC fókusz gyűrű
Kérdés küldése
Elérhetőségei
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát.Adatvédelmi szabályzat