CVD SIC bevonó grafit -érzékeny

A CVD SIC bevonó grafit-susceptor kifejezetten a nagy pontosságú gyártáshoz készült a félvezető iparban. A grafit szubsztrátot nagy tisztességes SIC réteggel borítják a CVD-eljárás, amelynek kiváló magas hőmérsékleti ellenállása, korrózióállóság és oxidációs ellenállás, és hosszú ideig stabilan működhet magas hőmérsékleten és vákuumkörnyezetben. Ezt az talapzatot széles körben használják a MOCVD, PECVD, PVD és más berendezésekben, hogy támogassák az ostyák és más nagy pontosságú anyagok feldolgozását és kezelését.

Alapvető előnyök:

● Magas hőmérsékleti stabilitás: Maga a nagy tisztaságú grafit kiváló hőstabilitással rendelkezik. Miután SIC bevonattal bevonták, ellenáll a magasabb hőmérsékletű szélsőséges környezeteknek, és alkalmas a magas hőmérsékleti folyamatokra félvezető feldolgozás során.

● Sarokionrezisztencia: A CVD SIC bevonat rezisztens a sav- és lúgos korrózióval szemben, és hosszú élettartamú lehet a CVD folyamatban.

● Magas Hívesség és oxidációs ellenállás: A CVD SIC bevonat kiváló keménységgel, karcállósággal és oxidációs ellenállással rendelkezik magas hőmérsékleten az anyag stabilitásának fenntartása érdekében.

● Jó hővezető képesség: A grafit szubsztrát és a CVD SIC bevonat -érzékeny kombinációja miatt az alap kiváló hővezető képességgel rendelkezik, amely hatékonyan képes hőt viselni és javítani a termelés hatékonyságát.

Termék -előírások:

● Anyag: Graphite szubsztrát + CVD SIC bevonat

● Bevonat vastagsága: testreszabható az ügyfelek igényei szerint

● Alkalmazható környezet: Magas hőmérséklet, vákuum, korrozív gázkörnyezet

Testreszabott szolgáltatás:

Nagyon testreszabott szolgáltatásokat nyújtunk az ügyfelek különböző berendezéseinek és folyamatainak igényeinek kielégítésére. Az ügyfél specifikus alkalmazása szerint grafitbázisokat lehet biztosítani, amelyek különböző bevonattal, felületkezelésekkel és precíziós szintekkel rendelkeznek.

A Veteksemi mindig is a CVD szilícium-karbid bevonóiparában dolgozott, és az iparág vezető CVD SIC bevonat grafit alaptermelése és gyártási szintje. Ha további termékinformációkra vagy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége, kérjük, vegye fel a kapcsolatot a Vetek Semiconductorhoz, teljes szívvel professzionális támogatást nyújtunk Önnek.

A CVD SIC film kristályszerkezetének SEM adatai:

VeTek SemiconductorCVD SIC bevonó grafit -Susceptor termékboltok: