CVD SiC bevonatú grafit szuszceptor ostyahordozóhoz

1. A termék előnyei

• Nagy tisztaságú anyag:A félvezető minőségű grafit anyag és a sűrű SiC bevonatszerkezet minimalizálja a szennyeződés kockázatát és javítja a CVD SiC bevonatú grafit szuszceptor megbízhatóságát.
• Kiváló termikus egyenletesség:Az optimalizált grafitszerkezet és a SiC bevonat stabil hőátadást és egyenletes szelethőmérséklet szabályozást biztosít.
• Kiváló vegyszerállóság:A sűrű SiC bevonat erős ellenállást biztosít a technológiai gázokkal és a korrozív környezettel szemben.
• Hosszú élettartam:A nagy keménység és kopásállóság növeli a tartósságot magas hőmérsékletű epitaxiás körülmények között.
• Alacsony részecsketermelés:A sűrű CVD SiC felület csökkenti a részecskék felszabadulását és javítja az ostyafolyamat megbízhatóságát.
• Testreszabott tervezési lehetőség:Különböző méretben, felépítésben és konfigurációban kapható a berendezés követelményeinek megfelelően.

2. Műszaki előírások

3. Alkalmazások

• SiC epitaxiás folyamat:A grafit szuszceptort ostyahordozóként használják a SiC epitaxiás berendezésekben, támogatva a SiC szubsztrátokat a magas hőmérsékletű epitaxiális növekedés során.
• Szilícium epitaxiás eljárás:Szilícium epitaxiális reaktorokban alkalmazva ostyák alátámasztására és stabil hőviszonyok fenntartására.
• MOCVD epitaxia:A VETEK grafit szuszceptorok alkalmasak MOCVD, LED epitaxia, GaN epitaxia, szilícium epitaxia és más olyan félvezető gyártási eljárásokhoz, amelyek kiváló termikus egyenletességet és kémiai stabilitást igényelnek.
• Félvezető gyártó berendezések:Kompatibilis különféle epitaxia platformokkal, beleértve az LPE vízszintes kemencéket, az Aixtront, a NuFlare-t és a kapcsolódó félvezető berendezéseket.

4. Miért válassza a VETEK-et?

A VETEK testreszabott CVD SiC bevonatú grafit szuszceptor megoldásokat kínál, amelyek integrálják a grafittisztítást, a precíziós megmunkálást, a CVD bevonatot és az ellenőrzési képességeket. Félvezető minőségű grafit szuszceptor termékeink nagy tisztaságúak, egyenletes bevonatvastagsággal, kiváló hőteljesítménnyel és hosszú élettartammal rendelkeznek az igényes lapkahordozó alkalmazásokhoz.