Tantalum karbid bevonat

A vetek félvezető fő funkciójaTantalum karbid (TAC) bevonatA támogatás ahőállóság, kopásállóság és korrózióállósága szubsztrát egy rétegének tantalum karbid bevonat bevonásával, hogy javítsa a folyamat pontosságát és megbízhatóságát, és meghosszabbítsa az alkatrészek élettartamát. Ez egy nagy teljesítményű bevonó termék, amelyet a félvezető feldolgozás területén használnak.

A Vetek Semiconductor tantalum karbid bevonatának szupporának Mohs keménysége csaknem 9 ~ 10, csak a gyémánt. Rendkívül erős kopásállósággal rendelkezik, és hatékonyan ellenáll a felület kopásának és hatásainak a feldolgozás során, ezáltal hatékonyan meghosszabbítva a berendezés alkatrészeinek élettartamát. Körülbelül 3880 ° C -os magas olvadáspontjával kombinálva gyakran használják a félvezető berendezések kulcsfontosságú elemeinek bevonására, például a tartószerkezetek felszíni bevonatainak, a hőkezelő berendezéseknek, a kamráknak vagy a félvezető berendezésekben lévő tömítésekhez, hogy javítsák kopási ellenállását és magas hőmérsékleti ellenállását.

A tantalum -karbid rendkívül magas olvadáspontja miatt kb. 3880 ° C, a félvezető feldolgozási folyamatokban, példáulkémiai gőzlerakódás (CVD)ésFizikai gőzlerakódás (PVD), TAC bevonat erős, magas hőmérsékletű ellenállással és kémiai korrózióállósággal hatékonyan védi a berendezések alkatrészeit, és megakadályozhatja a szubsztrát korrózióját vagy károsodását szélsőséges környezetben, hatékony védelmet biztosítva a ostya gyártásának magas hőmérsékletű környezetében. Ez a szolgáltatás azt is meghatározza, hogy a Vetek Semiconductor tantalum karbid bevonat -támogatását gyakran használják a maratási és korrozív folyamatokhoz.

A tantalum karbid bevonási tartója szintén csökkenti a részecskek szennyeződését. A ostya feldolgozása során a felület kopása általában részecskék szennyeződést eredményez, ami befolyásolja az ostya termék minőségét. A TAC bevonat szélsőséges termékjellemzői közel 9-10 mohs keménységgel hatékonyan csökkenthetik ezt a kopást, ezáltal csökkentve a részecskék képződését. A TAC bevonat kiváló hővezetőképességével (kb. 21 W/m · K) kombinálva megőrizheti a jó hővezetőképességet magas hőmérsékleti körülmények között, ezáltal jelentősen javítva az ostya gyártásának hozamát és következetességét.

A Vetek Semiconductor fő TAC bevonási termékei között szerepelTAC bevonófűtés, CVD TAC bevonat tégely, TAC bevonat rotációs érzékenyésTAC bevonó alkatrészstb., és támogatja a testreszabott termékszolgáltatásokat. A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló termékeket és műszaki megoldásokat kínáljon a félvezető ipar számára. Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnerré válhatunk Kínában.

Tantalum karbid (TAC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

A CVD TAC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai：