Vetek Semiconductor Kiváló minőségű Tantalum karbid bevonatú chuck, SIC bevonó alkatrészek versenyképes árral. Ez a kiegészítő javítja a félvezető gyártás hatékonyságát és minőségét, kiemelkedő teljesítményt és megbízhatóságot biztosítva.
Kiváló minőségű anyagokból készült és pontossággal gyártott chuck egy grafit szubsztrátot tartalmaz, amelyet CVD tantalum karbiddal (TAC) bevontak. Ez a bevonat kiváló hőstabilitást, magas tisztaságot és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállást biztosít. Ez biztosítja a megbízható teljesítményt a MOCVD folyamatok igényes körülményei között.
A Chuck testreszabható a különféle félvezető ostya méretének befogadására, így alkalmassá teszi a különféle termelési követelményeket. Robusztus felépítése minimalizálja az ostyahordozókkal és az érzőkkel kapcsolatos karbantartási költségeket és karbantartási költségeket.
A Vetek félvezető tantalum karbid bevonatú Chuck -szal az Aixtron G10 MOCVD rendszer magasabb hatékonyságot és kiváló eredményeket ér el a félvezető gyártásában. Kivételes hőstabilitása, a különféle ostyaméretek és megbízható teljesítmény kompatibilitása és a termelési hatékonyság optimalizálásához és a kihívást jelentő MOCVD környezetben kiemelkedő eredmények eléréséhez nélkülözhetetlen eszköz.
A tantalum karbid bevonatú chuck termékparamétere
A TAC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség
14.3 (g/cm³)
Specifikus emisszióképesség
0.3
Hőtágulási együttható
6.3 10-6/K
Keménység (HK)
2000 HK
Ellenállás
1 × 10-5Ohm*cm
Hőstabilitás
<2500 ℃
Grafit méretű változások
-10 ~ -20um
Bevonat vastagsága
≥20um tipikus érték (35um ± 10um)
Ostya teljesítménye az alkatrészek használata után:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát. Adatvédelmi szabályzat