Termékek
Tantalum karbid bevonatú chuck
  • Tantalum karbid bevonatú chuckTantalum karbid bevonatú chuck

Tantalum karbid bevonatú chuck

A Vetek Semiconductor egy vezető tantalum karbid bevonatú Chuck-gyártó és újító Kínában. A TAC bevonására évek óta szakosodtak.

Vetek Semiconductor Kiváló minőségű Tantalum karbid bevonatú chuck, SIC bevonó alkatrészek versenyképes árral. Ez a kiegészítő javítja a félvezető gyártás hatékonyságát és minőségét, kiemelkedő teljesítményt és megbízhatóságot biztosítva.

Kiváló minőségű anyagokból készült és pontossággal gyártott chuck egy grafit szubsztrátot tartalmaz, amelyet CVD tantalum karbiddal (TAC) bevontak. Ez a bevonat kiváló hőstabilitást, magas tisztaságot és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállást biztosít. Ez biztosítja a megbízható teljesítményt a MOCVD folyamatok igényes körülményei között.

A Chuck testreszabható a különféle félvezető ostya méretének befogadására, így alkalmassá teszi a különféle termelési követelményeket. Robusztus felépítése minimalizálja az ostyahordozókkal és az érzőkkel kapcsolatos karbantartási költségeket és karbantartási költségeket.

A Vetek félvezető tantalum karbid bevonatú Chuck -szal az Aixtron G10 MOCVD rendszer magasabb hatékonyságot és kiváló eredményeket ér el a félvezető gyártásában. Kivételes hőstabilitása, a különféle ostyaméretek és megbízható teljesítmény kompatibilitása és a termelési hatékonyság optimalizálásához és a kihívást jelentő MOCVD környezetben kiemelkedő eredmények eléréséhez nélkülözhetetlen eszköz.


A tantalum karbid bevonatú chuck termékparamétere

A TAC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14.3 (g/cm³)
Specifikus emisszióképesség 0.3
Hőtágulási együttható 6.3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1 × 10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
Grafit méretű változások -10 ~ -20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um ± 10um)


Ostya teljesítménye az alkatrészek használata után:

Wafer performance after using our components


VeTek Semiconductor Production Shop:

VeTek Semiconductor Production Shop


A félvezető chip -epitaxy ipari lánc áttekintése:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Tantalum karbid bevonatú chuck
Kérdés küldése
Elérhetőségei
Ha kérdése van a szilícium-karbid bevonattal, a tantál-karbid bevonattal, a speciális grafittal vagy az árlistával kapcsolatban, kérjük, hagyja nekünk e-mail-címét, és 24 órán belül felvesszük Önnel a kapcsolatot.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept