Termékek
Tantalum karbid bevonatú chuck
  • Tantalum karbid bevonatú chuckTantalum karbid bevonatú chuck

Tantalum karbid bevonatú chuck

A Vetek Semiconductor egy vezető tantalum karbid bevonatú Chuck-gyártó és újító Kínában. A TAC bevonására évek óta szakosodtak.

Vetek Semiconductor Kiváló minőségű Tantalum karbid bevonatú chuck, SIC bevonó alkatrészek versenyképes árral. Ez a kiegészítő javítja a félvezető gyártás hatékonyságát és minőségét, kiemelkedő teljesítményt és megbízhatóságot biztosítva.

Kiváló minőségű anyagokból készült és pontossággal gyártott chuck egy grafit szubsztrátot tartalmaz, amelyet CVD tantalum karbiddal (TAC) bevontak. Ez a bevonat kiváló hőstabilitást, magas tisztaságot és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállást biztosít. Ez biztosítja a megbízható teljesítményt a MOCVD folyamatok igényes körülményei között.

A Chuck testreszabható a különféle félvezető ostya méretének befogadására, így alkalmassá teszi a különféle termelési követelményeket. Robusztus felépítése minimalizálja az ostyahordozókkal és az érzőkkel kapcsolatos karbantartási költségeket és karbantartási költségeket.

A Vetek félvezető tantalum karbid bevonatú Chuck -szal az Aixtron G10 MOCVD rendszer magasabb hatékonyságot és kiváló eredményeket ér el a félvezető gyártásában. Kivételes hőstabilitása, a különféle ostyaméretek és megbízható teljesítmény kompatibilitása és a termelési hatékonyság optimalizálásához és a kihívást jelentő MOCVD környezetben kiemelkedő eredmények eléréséhez nélkülözhetetlen eszköz.


A tantalum karbid bevonatú chuck termékparamétere

A TAC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14.3 (g/cm³)
Specifikus emisszióképesség 0.3
Hőtágulási együttható 6.3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1 × 10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
Grafit méretű változások -10 ~ -20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um ± 10um)


Ostya teljesítménye az alkatrészek használata után:

Wafer performance after using our components


VeTek Semiconductor Production Shop:

VeTek Semiconductor Production Shop


A félvezető chip -epitaxy ipari lánc áttekintése:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Tantalum karbid bevonatú chuck
Kérdés küldése
Elérhetőségei
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát. Adatvédelmi szabályzat
ElutasítElfogadás