Kvarc kemence cső diffúziós kemencéhez

1. Főbb jellemzők és előnyök

• Ultranagy tisztaságú dehidroxilezett olvasztott kvarc (SiO₂ ≥ 99,999%) fémszennyeződésekkel, ppb szinten szabályozott és rendkívül alacsony hidroxiltartalommal

• Hosszú távú üzemi hőmérséklet 1100 °C-ig; rövid távú csúcsellenállás 1200 °C-ig

• Kiváló hősokkállóság a teljes feszültségmentesítő izzítás után – ellenáll a repedésnek gyors hőmérséklet-változások hatására

• Kiemelkedő kémiai tehetetlenség oxidáló, redukáló és halogéntartalmú technológiai gázokkal szemben; plazmához és korrozív atmoszférához alkalmas

• Nagyon alacsony vákuumkibocsátás; a sima belső fal minimalizálja a melléktermékek felhalmozódását és támogatja a folyamat megismételhetőségét

• Egyrészes alakítás egyenletes falvastagsággal, nagy koaxiálissággal és precíziósan kidolgozott végekkel a megbízható tömítésért

• Testreszabható szerkezetek: egyenes csövek, szűkítő csövek, karimás csövek, meghosszabbított hosszúságok és speciális végkonfigurációk függőleges vagy vízszintes kemencékhez

2. Tipikus alkalmazások

A VeTek kvarckemence csöveket széles körben használják magreakciókamraként:

• Termikus oxidációs kemencék (száraz/nedves oxidáció)

• Diffúziós kemencék adalékanyag bevezetéséhez (B, P, As stb.)

• LPCVD rendszerek vékonyréteg-leválasztáshoz

• Vákuumos izzítás és egyéb magas hőmérsékletű hőkezelési eljárások

• Kompatibilis a 4 hüvelykes, 6 hüvelykes, 8 hüvelykes és 12 hüvelykes ostyaplatformokkal (Si, SiC, GaN, zafír hordozók)

Támogatják a logikát, a memóriát, a tápegységet, az MCU-t, a LED-eket, a MEMS-eket és a széles sávú félvezető gyártósorokat, amelyek stabil hőmérsékleti egyenletességet, gázáramlás-szabályozást és ultra-tiszta folyamatkörnyezetet igényelnek.

3. Főbb műszaki paraméterek

• Anyaga: Félvezető minőségű dehidroxilezett olvasztott kvarc (SiO₂ ≥ 99,999%), alacsony hidroxiltartalom, alacsony fémszennyeződés

• Ostya kompatibilitás: 4 / 6 / 8 / 12 hüvelyk

• Hosszú távú üzemi hőmérséklet: −20 °C és 1100 °C között; rövid távú csúcs 1200 °C-ig

• Eljárás: egyrészes termikus alakítás, falhomogenizálás, végkikészítés, feszültségmentesítő izzítás, hélium szivárgásteszt, ultra-tiszta tisztítás

• Elérhető szerkezetek: Egyenes cső, szűkítőcső, karimás cső, hosszabbított / egyedi hosszúságú cső, speciális vég konfigurációk

• Testreszabás: belső/külső átmérő, hossz, falvastagság, karima specifikációk és speciális geometriák az ügyfél rajzai szerint

4. Miért válassza a VeTek kvarc kemence csöveket?

A félvezető kvarc alkatrészek professzionális gyártójaként a VeTek Semiconductor a következőket kínálja:

• Nagy tisztaságú kvarc kemence csövek oxidációhoz, diffúzióhoz, LPCVD-hez és lágyító berendezésekhez

• Szigorú tisztaság-ellenőrzés, méretpontosság és tisztaság, amely alkalmas a 10. osztályú / 100. osztályú tisztatéri gyártáshoz

• Teljes testreszabás és OEM-kompatibilis kialakítás függőleges és vízszintes csőkemencékhez

• Kiegészítő félvezető kvarctermékek, beleértve az ostyahajókat, olvasztótégelyeket, béléseket és egyéb folyamatelemeket

Kvarckemence csöveink segítenek fenntartani a stabil hő- és gázáramlási feltételeket, minimálisra csökkentik a részecske- és fémszennyeződést, és meghosszabbítják az élettartamot folyamatos magas hőmérsékletű ciklusok mellett – így támogatják a nagyobb hozamot és az alacsonyabb fenntartási költségeket a félvezető hőfeldolgozás során.