Oxidációs és diffúziós kemence

Az oxidációs és diffúziós kemencéket különféle területeken használják, például félvezető eszközök, különálló eszközök, optoelektronikai eszközök, teljesítményelektronikai eszközök, napelemek és nagyléptékű integrált áramkörök gyártása. Ezeket olyan folyamatokhoz használják, mint például a diffúzió, az oxidáció, az izzítás, az ötvözés és az ostyák szinterelése.

A VeTek Semiconductor vezető gyártó, amely nagy tisztaságú grafit, szilícium-karbid és kvarc alkatrészek gyártására szakosodott oxidációs és diffúziós kemencékben. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű kemenceelemeket biztosítsunk a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára, és élen járunk a felületbevonat-technológiában, mint például a CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon stb.

A VeTek Semiconductor szilícium-karbid alkatrészek előnyei:

Magas hőmérsékletállóság (1600 ℃-ig)

Kiváló hővezető képesség és hőstabilitás

Jó kémiai korrózióállóság

Alacsony hőtágulási együttható

Nagy szilárdság és keménység

Hosszú élettartam

Az oxidációs és diffúziós kemencékben a magas hőmérséklet és a korrozív gázok jelenléte miatt számos komponens magas hőmérsékletű és korrózióálló anyagok használatát teszi szükségessé, amelyek közül a szilícium-karbid (SiC) az általánosan használt választás. A következők az oxidációs és diffúziós kemencékben előforduló általános szilícium-karbid komponensek:

Ostyahajó

A szilícium-karbid ostyahajó szilícium ostyák szállítására használt tartály, amely ellenáll a magas hőmérsékletnek és nem lép reakcióba a szilícium ostyákkal.

Kemence cső

A kemencecső a diffúziós kemence központi eleme, amelyet szilíciumlapkák elhelyezésére és a reakciókörnyezet szabályozására használnak. A szilícium-karbid kemencecsövek kiváló magas hőmérsékleten és korrózióállósággal rendelkeznek.

Terelőlemez

A légáramlás és a hőmérséklet-eloszlás szabályozására szolgál a kemencében

Hőelem védőcső

A hőmérsékletmérő hőelemek védelmére szolgál a korrozív gázokkal való közvetlen érintkezéstől.

Konzolos lapát

A szilícium-karbid konzolos lapátok ellenállnak a magas hőmérsékletnek és a korróziónak, és szilícium csónakokat vagy szilíciumlapátokat szállító kvarccsónakokat a diffúziós kemence csöveibe szállítanak.

Gáz befecskendező

A reakciógáznak a kemencébe történő bevezetésére használják, ellenállónak kell lennie a magas hőmérséklettel és a korrózióval szemben.

Csónakszállító

A szilícium-karbid ostyatartó a szilícium ostyák rögzítésére és alátámasztására szolgál, amelyeknek olyan előnyei vannak, mint a nagy szilárdság, a korrózióállóság és a jó szerkezeti stabilitás.

Kemenceajtó

Szilícium-karbid bevonatok vagy alkatrészek a kemenceajtó belső oldalán is használhatók.

Fűtőelem

A szilícium-karbid fűtőelemek alkalmasak magas hőmérsékletre, nagy teljesítményre, és gyorsan 1000 ℃ fölé emelhetik a hőmérsékletet.

SiC Bélés

A kemencecsövek belső falának védelmére használják, így csökkentheti a hőenergia-veszteséget, és ellenáll az olyan zord környezeteknek, mint a magas hőmérséklet és a magas nyomás.