Oxidációs és diffúziós kemence

Az oxidációs és diffúziós kemencéket különféle területeken használják, például félvezető eszközökben, diszkrét eszközökben, optoelektronikus eszközökben, energiaellátó elektronikus eszközökben, napelemekben és nagyméretű integrált áramköri gyártásban. Ezeket olyan folyamatokhoz használják, beleértve a diffúziót, az oxidációt, a lágyítást, az ötvözést és az ostya szinterezését.

A Vetek Semiconductor egy olyan vezető gyártó, amely a nagy tisztaságú grafit, a szilícium-karbid és a kvarc alkatrészek előállítására szakosodott az oxidációs és diffúziós kemencékben. Elkötelezettek vagyunk azért, hogy kiváló minőségű kemence alkatrészeket biztosítsunk a félvezető és a fotovoltaikus ipar számára, és a felszíni bevonási technológiák, például a CVD-SIC, a CVD-TAC, a pirrocarbon stb.

A vetek félvezető szilícium karbid -összetevők előnyei:

● Magas hőmérsékleti ellenállás (legfeljebb 1600 ℃)

● Kiváló hővezető képesség és hőstabilitás

● Jó kémiai korrózióállóság

● Alacsony termikus tágulási együttható

● Nagy szilárdság és keménység

● Hosszú élettartam

Az oxidáció és a diffúziós kemencékben, a magas hőmérséklet és a korrozív gázok jelenléte miatt, sok alkatrész magas hőmérsékletű és korrózióálló anyagok felhasználását igényli, amelyek között a szilícium-karbid (SIC) általánosan használt választás. Az alábbiakban az oxidációs kemencékben és a diffúziós kemencékben található szilícium -karbid -összetevők a következők:

● ostyacsónak

A szilícium -karbid ostyacsónak egy olyan tartály, amelyet szilikon ostyák hordozására használnak, amely ellenáll a magas hőmérsékleteknek, és nem reagál a szilícium ostyákkal.

● kemencecső

A kemencecső a diffúziós kemence alapvető alkotóeleme, amelyet a szilícium ostyák befogadására és a reakciókörnyezet szabályozására használnak. A szilícium-karbid-kemence csövek kiváló magas hőmérsékletű és korrózióálló képességgel rendelkeznek.

● terelőlemez

A légáram és a hőmérséklet eloszlásának szabályozására szolgál a kemencében

● Hőelem védelmi cső

A hőelem mérésének hőmérsékletének védelmére használják a korrozív gázokkal való közvetlen érintkezéstől.

● Konzolos lapát

A szilícium -karbid -konzolos lapátok ellenállnak a magas hőmérsékletnek és a korróziónak, és szilícium -hajók vagy kvarchajók szállítására szolgálnak, amelyek szilikon ostyákat hordoznak a diffúziós kemencecsövekbe.

● Gázfecskelő

A reakciógáz bevezetésére a kemencébe ellenállnia kell a magas hőmérsékleten és a korróziónak.

● hajóhordozó

A szilícium -karbid ostyacsónak -hordozót használják a szilícium ostyák rögzítésére és támogatására, amelyeknek olyan előnyei vannak, mint a nagy szilárdság, a korrózióállóság és a jó szerkezeti stabilitás.

● kemence ajtaja

A szilícium -karbid bevonatok vagy alkatrészek szintén használhatók a kemence ajtó belsejében.

● Fűtési elem

A szilícium -karbid -fűtési elemek magas hőmérsékletekhez, nagy teljesítményhez alkalmasak, és gyorsan meghaladhatják a hőmérsékletet 1000 ℃ -re.

● sic bélés

A kemence csövek belső falának védelmére használva segíthet csökkenteni a hőenergia elvesztését és ellenállni a szigorú környezetnek, például a magas hőmérsékleten és a magas nyomásnak.

View as

Magas tiszta szilícium -karbid ostyahordozó

A vetek félvezető magas tiszta szilícium -karbid ostya hordozója fontos alkatrészek a félvezető feldolgozásban, amelynek célja a finom szilícium ostyák biztonságos megtartása és szállítása, amely kulcsszerepet játszik a gyártás minden szakaszában. A Vetek Semiconductor magas tiszta szilícium -karbid ostya -hordozóját gondosan megtervezték és gyártják a kiváló teljesítmény és megbízhatóság biztosítása érdekében. A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy versenyképes áron biztosítja a minőségi termékeket, és várjuk, hogy hosszú távú partnere legyen Kínában. Szabadon érdekelhet bennünket.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Szilícium karbid ostyacsónak

A Vetek Semiconductor nagy tisztességes szilícium-karbid ostyacsónakja rendkívül tiszta szilícium-karbid anyagból készül, kiváló hőstabilitással, mechanikai szilárdsággal és kémiai ellenállással. A nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyacsónakot forró zóna-alkalmazásokban használják félvezető gyártásban, különösen a magas hőmérsékletű környezetben, és fontos szerepet játszik az ostyák védelmében, az anyagok szállításában és a stabil folyamatok fenntartásában. A Vetek Semiconductor továbbra is keményen dolgozik az innováció érdekében és javítja a nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyacsónak teljesítményét, hogy megfeleljen a félvezető gyártás változó igényeinek. Bízunk benne, hogy Kínában hosszú távú partnerévé válhat.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Professzionális Oxidációs és diffúziós kemence gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Oxidációs és diffúziós kemence -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Oxidációs és diffúziós kemence

A vetek félvezető szilícium karbid -összetevők előnyei:

Magas tiszta szilícium -karbid ostyahordozó

Szilícium karbid ostyacsónak

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím