Egyéb félvezető kerámia

A Vetekchemon porózus SIC kerámia chuckja egy precíziós formázott vákuumplatform, amelyet biztonságos és részecskementes ostya kezelésére terveztek fejlett félvezető folyamatok, például maratás, ion implantáció, CMP és ellenőrzés során. A nagy tisztaságú porózus szilícium-karbidból gyártott kiemelkedő termikus vezetőképességet, kémiai ellenállást és mechanikai szilárdságot kínál. Testreszabható pórusméretekkel és méretekkel a Vetekchemon testreszabott megoldásokat szállít a tiszta szoba ostya -feldolgozási környezetének szigorú igényeinek kielégítésére.

A kvarc ostyacsónakjaink nagy tisztességű ostyahordozó-oldat, amelyet félvezető, LED, napelem és akkumulátor gyártási folyamataikra szabtak. A magas hőmérséklet és a kémiailag agresszív környezet elviselésére szolgál, ez a kvarc hajó alacsony termikus tágulást, kiváló elektromos szigetelést és hosszú távú dimenziós stabilitást tartalmaz. Ideális a diffúzió, az oxidáció és az LPCVD folyamatokhoz, támogatja a pontos ostya igazítását, és különféle méretben kapható, hogy megfeleljen a különféle berendezések követelményeinek.

Magas tisztaságú kvarc hajónk olvasztott kvarcból készül (Sio₂ tartalom ≥ 99,99%). Kiválóan ellenállása a szélsőséges környezetnek, az alacsony hőtágulási együtthatónak és a hosszú életciklusnak, pótolhatatlan kulcsfogyaszthatóvá vált a félvezető és az új energiaiparban.

A maratás fókuszgyűrűje a kulcselem a folyamat pontosságának és stabilitásának biztosítása érdekében. Ezeket az alkatrészeket pontosan egy vákuumkamrában szereljük össze, hogy elérjék a nanoméretű szerkezetek egyenletes megmunkálását az ostya felületén a plazma eloszlásának, a szélhőmérséklet és az elektromos mező egységességének pontos szabályozásával.

A Vetekchechon egy vezető vákuum -Chuck -gyártó Kínában, a kerámia vákuum -chuckunk magas végű vákuum -adszorpciós eszközként szolgál, amely a pontos adszorpció és immobilizáló ostyák és rúdok pontos adszorpciója felé irányul. Üdvözöljük a kérdését.

A félvezető minőségű Quartz Bell Jar egy fontos berendezés-alkatrész, amelyet főleg magas hőmérsékleten, nagy nyomáson és nagy tisztaságú környezetben használnak. Nagy tisztaságú kvarc anyagból készül, kiváló hőstabilitással, kémiai ellenállással és optikai átlátszósággal rendelkezik, és széles körben használják az ipari területeken, például a félvezetőgyártásban és a LED-gyártásban. A VeTek Semiconductor sok éves folyamatfelhalmozással rendelkezik a Semiconductor minőségű Quartz Bell Jar-ben, és testreszabott termékeket kínál az ügyfelek igényei szerint. Várom érdeklődését.