Fókuszgyűrű a maratáshoz

A monokristályos szilíciummarató gyűrűk alapvető elemei a félvezető maratási folyamatokban a plazma környezet stabilitásának fenntartásával, a berendezések és ostyák védelmével, az erőforrások felhasználásának optimalizálásával és a fejlett folyamatkövetelményekhez való alkalmazkodással. Teljesítménye közvetlenül befolyásolja a chipgyártás hozamát és költségeit.

A maratott fókuszgyűrű, az elektróda és az ETC (élhőmérséklet -szabályozó) az alapvető fogyóeszközök, amelyek biztosítják a plazma egységességét, a hőmérséklet -szabályozást és a folyamat megismételhetőségét. Ezeket az alkatrészeket pontosan a CVD vákuumkamrájában, a maratás és a filmberendezések vákuumkamrájában szereljük össze, és közvetlenül meghatározzák a maratás pontosságát és hozamát az ostya középpontjáig.

A csúcskategóriás gyártási folyamatokban az anyagtulajdonságok szigorú igényére reagálva a Veteksemi innovációkkal innovál, ha nagy tisztaságú monokristályos szilíciumot használ, 10-20Ω · cm ellenállással, a fókuszáló gyűrűk és a támogató fogyóeszközök előállításához. Az anyagtudomány, az elektromos tervezés és a termodinamika együttműködési optimalizálása révén a Vetekemi képes fókuszáló gyűrűk gyártására és a fogyóeszközök támogatására. Átfogóan felülmúlja a hagyományos kvarc -megoldásokat a hosszú élettartam, a pontosság és a költséghatékonyság áttörési javulásainak elérése érdekében.

Alapvető anyag összehasonlítás és ellenállás optimalizálása

Monokristályos szilícium Vs. Kvarc

Termék Core Advantage

1.

Az ellenállás optimalizálása + ultra-precíziós polírozás (RA <0,1 μm) kiküszöböli a mikro-kisülést és a részecskék szennyeződését, hogy megfeleljen a félig F47 szabványoknak.

A dielektromos veszteség (tanδ <0,001) jól illeszkedik az ostya dielektromos környezetéhez, elkerülve az él elektromos mező torzulását és támogatva a 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° függőleges mély lyuk maratását.

2. Intelligens rendszer kompatibilitása

Az ETC Edge hőmérséklet -szabályozó moduljával integrálva a hűtő levegő áramlását hőelem és AI algoritmus dinamikusan beállítja a kamra termikus sodródásának kompenzálására.

Támogassa a testreszabott RF illesztési hálózatot, amely alkalmas mainstream gépekhez, mint például az Amat Centura, a Lam Research Kiyo és az ICP/CCP plazmaforrások.

3. Átfogó költséghatékonyság

A monokristályos szilícium élettartama 275% -kal hosszabb, mint a kvarc, a karbantartási ciklus meghaladja a 3000 órát, és a tulajdonjog átfogó költsége (TCO) 30% -kal csökken.

Ellenállási gradiens testreszabási szolgáltatás (5-100Ω · cm), pontosan megfelelve az ügyfél-folyamat ablakának (például a GaN/SIC széles sávrés anyagmaratás).

Az ellenállás hatása

Terméki kereskedelmi feltételek

Minimális rendelési mennyiség	1 készlet
Ár	Kapcsolatfelvétel a testreszabott árajánlatért
Csomagolási részletek	Szabványos exportcsomag
Szállítási idő	Szállítási idő: 30-35 nappal a megrendelés megerősítése után
Fizetési feltételek	T/t
Ellátási képesség	600 készlet/hónap