Aixtron G10 szilárd szilícium-karbid bolygóreaktor alkatrészek

1. Főbb jellemzők és előnyök

• Teljesen sűrű, kötőanyagmentes szilárd SiC szerkezet a kiváló kopás- és korrózióállóságért

• Kiváló hővezető képesség és hősokkállóság 1500 °C feletti hőmérsékleten

• Rendkívül alacsony részecskeképződés és nagy tisztaság, minimálisra csökkentve a szennyeződés kockázatát

• Kiemelkedő kémiai tehetetlenség a SiC epitaxiában használt folyamatgázokkal szemben

• Hosszú élettartam ismételt magas hőmérsékletű ciklusok mellett

• Precíziós megmunkálástól szűk mérettűrésekig a megbízható illeszkedés és a folyamatstabilitás érdekében

 2. Tipikus alkalmazások

Ezeket a szilárd szilícium-karbid tartozékokat az Aixtron G10 reaktor kulcsfontosságú funkcionális területein használják, beleértve:

• Takarólemezek és kiválasztott fedőelemek

• Védőgyűrűk és kopásálló alkatrészek

• Precíziós csapok, alátétek és kis szerkezeti részek

• Egyéb egyedi, nagy tisztaságú betétek, amelyek intenzív gázáramlásnak vagy termikus terhelésnek vannak kitéve

Támogatják a stabil hőmérséklet-eloszlást, az egyenletes gázszállítást és az alacsony hibasűrűséget a nagy mennyiségű SiC epitaxiális növekedése során a teljesítmény MOSFET-ek, diódák és a kapcsolódó szélessávú eszközök esetében.

3. Miért válassza a VeTek Solid SiC-t az Aixtron G10-hez?

A félvezető minőségű anyagok speciális gyártójaként a VeTek Semiconductor a következőket kínálja:

• Aixtron G10 rendszerekhez szabott, nagy tisztaságú szilárd szilícium-karbamid alkatrészek, például: fedőgyűrű, belső/külső burkolatok, lehúzható/tartólemez, műholdlemez, szuszceptor

• Szigorú tisztasági ellenőrzés és precíziós CNC megmunkálás

• Kiegészítő megoldások, beleértve a CVD SiC bevonatú grafitot és a TaC bevonatú alkatrészeket a teljes hőmező lefedettség érdekében

• Egyedi kialakítások, amelyek az adott folyamatkörülményekhez és reaktorkonfigurációkhoz igazodnak

Szilárd SiC tartozékaink segítenek ügyfeleinknek maximalizálni az Aixtron G10 platform termelékenységi előnyeit – nagy lapkateljesítményt, kiváló vastagságot és adalékolási egyenletességet, valamint versenyképes birtoklási költségeket –, miközben meghosszabbítják az alkatrészek élettartamát és csökkentik a részecskékkel kapcsolatos hozamveszteséget.