Nagy tisztaságú kvarc maratott gyűrű

1.Főbb jellemzők és előnyök

• Félvezető minőségű dehidroxilezett olvasztott kvarc ≥ 99,999% SiO₂-val és szigorúan ellenőrzött fémszennyeződésekkel

• Stabil folyamatos működés 1100 °C-ig, rövid távú képességgel 1200 °C közelében

• Erős ellenállás a fluor- és klóralapú maratási kémiával és a nagy energiájú plazma expozícióval szemben

• Alacsony hőtágulás és jó hősokk-teljesítmény ismételt kamra hőmérsékleti ciklusok mellett

• Alacsony vákuumú gázkibocsátás a kamra alapnyomásának és a folyamatgáz összetételének védelme érdekében

• Mikronszintű méretszabályozás polírozott érintkezőfelületekkel a konzisztens kamraillesztés és plazmahatár meghatározásához

• Konfigurálható kialakítások: lapos gyűrűk, lépcsős maratógyűrűk, helymeghatározó/rögzítő gyűrűk és teljesen egyedi profilok a főbb maratószerszám-platformokhoz

2.Tipikus alkalmazások

A nagy tisztaságú kvarcmaratási gyűrűket száraz plazmamaratási folyamatkamrákban használják:

• Logikai és memóriaeszköz plazmamarás lépései

• SiC és GaN teljesítmény-eszköz maratási folyamatok

• Nagy képarányú szerkezet etch

• Optikai és összetett-félvezető szubsztrát plazmafeldolgozás

• Fejlett csomagolási plazmamarás és a kapcsolódó tisztítási lépések

• RIE / ICP laboratóriumi és gyártási maratási eszközök

3.Főbb műszaki paraméterek

• Anyaga: félvezető minőségű dehidroxilezett olvasztott kvarc, SiO₂ ≥ 99,999%

• Ostya kompatibilitás: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 hüvelykes szilícium, SiC, GaN és zafír

• Üzemi hőmérséklet: –20 °C és 1100 °C között folyamatos; rövid távú csúcs körülbelül 1200 °C

• Elsődleges funkciók: plazma éllezárás, gázáramlás irányítás, élvédelem és kamraszigetelés

• Megmunkálási minőség: mikronszintű tűrések, polírozott felületek, ellenőrzött élek és tiszta felület

• Szerkezeti lehetőségek: lapos gyűrű, lépcsős maratási gyűrű, helymeghatározó/rögzítő gyűrű és egyedi geometriák

• Testreszabás: külső/belső átmérő, vastagság, lépésmagasság, helymeghatározási jellemzők, letörések és interfész részletei rajzonként

4.Miért válassza a VeTek nagy tisztaságú kvarc maratott gyűrűket?

A VeTek Semiconductor folyamatkritikus kvarc hardvert szállít maratási és termikus szerszámokhoz. A maratott gyűrűk esetében a hangsúly a következőkön van:

• Anyagtisztaság és felülettisztaság fejlett szárazmaratási környezetekhez

• Méretpontosság, amely támogatja a stabil plazmahatár-szabályozást és az ismételhető kamraillesztést

• Rugalmas tervezés az OEM-stílusú cseréhez és a teljesen egyedi kamra interfészek számára

• Teljes kvarc alkatrészcsalád, amely ostyatartókat, kemencecsöveket, csónakokat és kapcsolódó folyamatelemeket is tartalmaz

A nagy tisztaság, a plazmatartósság és a szigorú geometria-ellenőrzés kombinálásával a VeTek High Purity Quartz Etch Rings javítja a lapkák közötti maratási egyenletességet, csökkenti az élekkel kapcsolatos hibákat, és támogatja a hosszabb, stabilabb gyártási ciklusokat a száraz plazmamarás szerszámokban.