Grafit csónak PECVD-hez

Alkalmazás: A PECVD-hez készült Veteksemicon grafitcsónak a plazmával javított kémiai gőzleválasztási folyamat alapvető összetevője. Kifejezetten kiváló minőségű szilícium-nitrid, szilícium-oxid és más vékony filmek szilícium lapkákra, összetett félvezetőkre és kijelzőpanelekre történő felhordására készült. Teljesítménye közvetlenül meghatározza a film egyenletességét, a folyamat stabilitását és a gyártási költséget.

Nyújtható szolgáltatások: ügyfélalkalmazási forgatókönyv elemzés, anyagok egyeztetése, műszaki problémamegoldás.

Vállalati profil：A Veeteksemicon 2 laboratóriummal, 20 éves anyagi tapasztalattal rendelkező szakértői csapattal rendelkezik, K+F és gyártási, tesztelési és ellenőrzési képességekkel.

Általános termékinformációk

A termék üzleti feltételei

Fő alkalmazási területek

Veteksemicon Graphite csónak a PECVD fő előnyeihez

1. Nagy tisztaságú szubsztrátok, a forrásból származó szennyezés szabályozása

Ragaszkodunk ahhoz, hogy alapanyagként izosztatikusan préselt, nagy tisztaságú, 99,995% feletti tisztaságú grafitot használjunk, hogy ne csapjon ki fémszennyeződéseket még folyamatos, 1600°C-os üzemi környezetben sem. Ez a szigorú anyagkövetelmény közvetlenül elkerülheti az ostya teljesítményének hordozószennyeződés által okozott romlását, ami a legalapvetőbb garanciát nyújtja a kiváló minőségű szilícium-nitrid vagy szilícium-oxid filmek lerakásához.

2. Pontos hőtér és szerkezeti tervezés a folyamatok egyenletességének biztosítása érdekében

A kiterjedt folyadékszimulációs és folyamatmérési adatok segítségével optimalizáltuk a hajó résszögét, vezetőhorony mélységét és gázáramlási útvonalát. Ez az aprólékos szerkezeti megfontolás lehetővé teszi a reaktív gázok egyenletes eloszlását a lapkák között. A tényleges mérések azt mutatják, hogy teljes terhelés mellett az azonos tételben lévő ostyák közötti filmvastagság egyenletességi eltérése stabilan szabályozható ±1,5%-on belül, jelentősen javítva a termékhozamot.

3. Testreszabott bevonatmegoldások az adott folyamatkorrózió kezelésére

A különböző ügyfelek különböző folyamatgáz-környezeteinek kielégítése érdekében két kiforrott bevonási lehetőséget kínálunk: pirolitikus szén és szilícium-karbid. Ha elsősorban szilícium-nitridet hord fel és hidrogénes tisztítást használ, a sűrű pirolitikus szénbevonat kiválóan ellenáll a hidrogénplazma eróziójának. Ha az eljárás fluortartalmú tisztítógázokat tartalmaz, akkor a nagy keménységű szilícium-karbid bevonat jobb választás. A grafitcsónak élettartamát erősen korrozív környezetben akár háromszorosára is meghosszabbíthatja, mint a hagyományos bevonat nélküli termékeké.

4. Kiváló hősokk-stabilitás, alkalmazkodik a gyakori hőmérsékleti ciklusokhoz

Egyedülálló grafit formulájunknak és belső megerősítő bordás kialakításunknak köszönhetően grafitcsónakjaink ellenállnak a PECVD eljárás ismétlődő gyors hűtési és fűtési sokkjainak. Szigorú laboratóriumi tesztek során 500 gyors, szobahőmérsékletről 800°C-ra végzett termikus ciklus után a hajó hajlítószilárdságának megtartási aránya még mindig meghaladta a 90%-ot, hatékonyan elkerülte a termikus igénybevétel okozta repedést, és biztosította a gyártás folytonosságát és biztonságát.

5. Ökológiai lánc hitelesítési jóváhagyás

A Veteksemicon Graphite csónak PECVD ökológiai láncellenőrzése kiterjed a nyersanyagokra a gyártásig, átesett a nemzetközi szabványos tanúsítványon, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik, amelyek biztosítják megbízhatóságát és fenntarthatóságát a félvezető és az új energiaterületeken.

A részletes műszaki leírásokért, tanulmányokért vagy mintavizsgálati megállapodásokért forduljon műszaki támogatási csoportunkhoz, hogy megtudja, hogyan javíthatja a Veteksemicon a folyamatok hatékonyságát.