CVD SiC bevonatú RTP szuszceptor

Jellemzők

• Termikus egyenletesség – Az anyag nagy hődiffúzivitása gyors, térben egyenletes hőátadást tesz lehetővé, és támogatja az ismételhető szelet hőmérsékleti profilokat.
• Magas tisztasági szint – A CVD SiC bevonat 99,99995%-os tisztaságot ér el, hatékonyan csökkentve a mobil ionok és fémek szennyeződésének kockázatát a kritikus folyamatlépésekben.
• Kémiai tartósság – A bevonat magas hőmérsékleten erősen ellenáll a korrozív anyagokkal, köztük a halogén alapú gázokkal szemben. Meghosszabbított szervizintervallumok – A fokozott oxidáció- és kopásállóság kevesebb cserét és szerszámleállási időt jelent.
• Tervezési rugalmasság – A méretek és konfigurációk hozzáigazíthatók az adott RTP-kamra geometriához és szeletmérethez.

Alkalmazások

• Rapid Thermal Processing (RTP)
• Gyors hőkezelés (RTA)
• Adalékanyag aktiválása Oxidációs és lágyítási lépések
• Integrált áramkör (IC) gyártása
• Erőteljesítmény-gyártás Műszaki

Műszaki adatok

Miért válassza a VeTek Semiconductort?

· Házon belüli CVD SiC bevonási eljárás, amelyet kifejezetten a félvezető minőségű követelményekhez fejlesztettek ki.

· Integrált grafittisztítási, precíziós megmunkálási és bevonatvastagság-szabályozási lehetőségek.

· Bizonyított bevonat tapadás és réteg egyenletesség a sorozatgyártás során.

· Mérnöki támogatás egyedi szuszceptor-konstrukciókhoz, amelyek kompatibilisek a főbb RTP eszközplatformokkal.

· A bejövő anyagok szigorú ellenőrzése, a folyamat közbeni felügyelet és a végső minősítési teszt biztosítja a tételek közötti konzisztenciát.