PZT piezoelektromos ostyák (PZT Si/SOI-n)

1. Műszaki architektúra

Lapjaink kifinomult többrétegű kötegszerkezettel rendelkeznek, amely optimális tapadást, vezetőképességet és piezoelektromos reakciót biztosít a komplex MEMS feldolgozás során:

 ●Felső elektróda (kulcsréteg): Pt (platina).

● Piezo réteg (alapréteg): PZT.

● Köztes rétegek: Tartalmazza a pufferréteget, az alsó elektródát és a tapadási réteget a szemcse orientáció és a szerkezeti stabilitás optimalizálása érdekében.

● Szubsztrát: Kompatibilis Si vagy SOI lapkákkal.

2. Minőségbiztosítás és mikrostruktúra-elemzés

Szigorú műszaki jellemzéssel biztosítjuk a nagy megbízhatóságot:

 ●SEM elemzés: A pásztázó elektronmikroszkópos (SEM) képek sűrű, repedésmentes felületi morfológiát mutatnak, egyenletes szemcseméret-eloszlással, ami ideális a nagy megbízhatóságú MEMS alkalmazásokhoz.

 ●XRD jellemzése: A röntgendiffrakciós (XRD) minták megerősítik a tiszta perovszkit fázis képződését erős (100) preferált orientációval, biztosítva a maximális piezoelektromos teljesítmény együtthatókat.

3. Műszaki adatok (jellemzők)

4. Alapvető alkalmazások

 ● Piezoelektromos mikromegmunkált ultrahangos átalakítók (pMUT): Nagyfrekvenciás miniatűr tömbök ujjlenyomat-érzékelőkhöz, gesztusfelismeréshez és autóipari ultrahangos radarokhoz.

 ● Kommunikáció: Kulcs az FBAR vagy SAW szűrők gyártásához 5G/6G-ben a szélesebb sávszélesség és a kisebb beillesztési veszteség elérése érdekében.

 ● Akusztikus MEMS: Erőteljes tranziens reakciót biztosít a MEMS hangszóróknak, és javítja a jel-zaj arányt (SNR) a MEMS mikrofonok számára.

 ● Precíziós folyadékszabályozás: Nagy sebességű vibráció a d31 módon keresztül a cseppek mennyiségének nanoliteres precíz szabályozásához a tintasugaras nyomtatófejekben.

 ● Orvosi és szépségápolás (mikropumpálás): Orvosi porlasztókat vagy kozmetikai ultrahangos szivattyúkat hajt meg nagy megbízhatósággal és kompakt mérettel.

5. Testreszabási szolgáltatások

A Si szeletekre történő szabványos lerakás mellett egyedi lerakási szolgáltatásokat is nyújtunk:

 ●Film és vastagság testreszabása: Adott fóliatípusok és egyedi vastagságok lerakása a tervezési követelményeknek megfelelően.

 ●OEM öntöde: Ügyfelektől szállított ostyák elfogadása kiváló minőségű piezoelektromos vékonyréteg-növekedés érdekében.

 ●SOI szubsztrát támogatás: Speciális lerakás SOI lapkákra a következő specifikációkkal: