Nagy tisztaságú CVD SiC bevonatú ostyahajó

1. Alapvető teljesítménytényezők?

• Tisztaság 7N szinten:99,99999%-os (7N) tisztasági szabványt tartunk fenn. Ez nem alku tárgya annak megakadályozása érdekében, hogy fémszennyeződések vándoroljanak az ostyába a hosszú behajtási vagy oxidációs lépések során.
• A CVD tömítés (50-300 μm):Nem csak a felületet "festjük". 50–300 μm-es CVD SiC rétegünk teljes tömítést hoz létre az aljzaton. Ez kiküszöböli a porozitást, ami azt jelenti, hogy a csónak nem fogja fel a vegyszereket és nem üríti ki a részecskéket még ismételt reakcióképes gázoknak való kitettség vagy agresszív SPM/DHF tisztítás után sem.
• Hőmerevség:A szilícium-karbid természetes alacsony hőtágulása egyenesen tartja ezeket a csónakokat. Nem ereszkednek meg vagy csavarodnak el a Rapid Thermal Healing (RTA) során, így biztosítva, hogy a robotkar mindig a megfelelő résbe kerüljön elakadás nélkül.
• Tartós hozamok:A felületet úgy tervezték, hogy alacsony melléktermék tapadjon. A kevesebb felhalmozódás azt jelenti, hogy kevesebb részecske éri az ostyát, és több futást tesz lehetővé a nedves asztali tisztítási ciklusok között.
• Egyedi geometria:Minden fanak megvan a maga beállítása. Ezeket az Ön speciális osztás- és résrajzai alapján készítjük el, akár vízszintes kemencét, akár függőleges, 300 mm-es automatizált vonalat üzemeltet.

2. Folyamat-kompatibilitás

• Légkör:Ellenáll a TMGa, AsH₃ és nagy koncentrációjú O₂ környezetnek.
• Termikus tartomány:Stabil hosszú távú működés 1400°C-ig.
• Anyagok:Kifejezetten logikai, teljesítmény- és analóg lapkák oxidációs és diffúziós folyamataihoz tervezték.