Porózus sic kerámia tányér

A porózus SIC kerámia tányér egy porózus szerkezetű kerámia anyag, amelyszilícium -karbidmint a fő alkotóelem, kombinálva egy speciális szinterezési eljárással. Porozitása állítható (általában 30%-70%), a pórusméret eloszlása ​​egyenletes, kiváló hőmérsékleti ellenállással, kémiai stabilitással és kiváló gázáteresztő képességgel rendelkezik, és széles körben használják a félvezető gyártásában, a kémiai gőzlerakódásban (CVD), a magas hőmérsékletű gázszűrésben és más mezőkben.

És a porózus SIC kerámia tányérról további információkért kérjük, nézd meg ezt a blogot.

Porózus sic kerámia tárcsaKiváló fizikai tulajdonságok

● Szélsőséges magas hőmérsékleti ellenállás:

A SIC kerámia olvadási pontja akár 2700 ° C -os, és továbbra is fenntarthatja a szerkezeti stabilitást 1600 ° C felett, messze meghaladja a hagyományos alumínium -oxid -kerámiákat (kb. 2000 ° C), különös tekintettel a félvezető magas hőmérsékleti folyamatokra.

● Kiváló termálkezelési teljesítmény:

✔ Magas hővezető képesség: A sűrű SIC hővezető képessége körülbelül 120 W/(M · K). Noha a porózus szerkezet kissé csökkenti a termikus vezetőképességet, ez még mindig szignifikánsan jobb, mint a legtöbb kerámia, és támogatja a hatékony hőeloszlását.

✔ Alacsony termikus tágulási együttható (4,0 × 10⁻⁶/° C): Szinte nincs deformáció magas hőmérsékleten, elkerülve az eszközhibát, amelyet a termikus feszültség okoz.

● Kiváló kémiai stabilitás

Sav- és lúgos korrózióállóság (különösen a HF környezetben kiemelkedő), magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás, alkalmas durva környezetekhez, például maratáshoz és tisztításhoz.

● Kiemelkedő mechanikai tulajdonságok

✔ Nagy keménység (Mohs keménység 9.2, csak a gyémánthoz képest), erős kopásállóság.

✔ A hajlítási szilárdság elérheti a 300-400 MPa-t, és a pórusszerkezet kialakítása figyelembe veszi mind a könnyű, mind a mechanikai szilárdságot.

● Funkcionalizált porózus szerkezet

✔ Magas fajlagos felület: Fokozza a gáz diffúziós hatékonyságát, amely megfelelő reakciógáz -eloszlási lemezként.

✔ Ellenőrizhető porozitás: Optimalizálja a folyadék behatolását és a szűrési teljesítményt, például az egységes filmképződést a CVD -folyamatban.

Konkrét szerep a félvezető gyártásában

● Magas hőmérsékleti folyamat támogatása és hőszigetelése

A ostya -tartólapként magas hőmérsékletű berendezésekben (> 1200 ° C), például diffúziós kemencékben és kemencékben használják a fémszennyezés elkerülése érdekében.

A porózus szerkezet mind szigetelési, mind támogatási funkcióival rendelkezik, csökkentve a hőveszteséget.

● Egységes gázeloszlás és reakcióvezérlés

A kémiai gőzlerakódás (CVD) berendezésekben, mint gázelosztási lemez, a pórusokat a reaktív gázok (például SIH₄, NH₃) egyenletes szállítására használják a vékony film lerakódásának egységességének javítása érdekében.

A száraz maratás során a porózus szerkezet optimalizálja a plazma eloszlását és javítja a maratási pontosságot.

● Elektrosztatikus chuck (ESC) alapkomponensek

A porózus SIC -t használják az elektrosztatikus Chuck szubsztrátként, amely a vákuum adszorpciót a mikropórusokon keresztül éri el, pontosan rögzíti az ostyát, és rezisztens a plazma bombázásnak, és hosszú élettartamú.

● Korrózióálló alkatrészek

A nedves marató és tisztító berendezések üreges béléséhez használják, ellenáll az erős savak (például H₂so₄, HNO₃) és az erős lúg (például a KOH) korróziójának.

● Termálmező egységesség -szabályozás

Az egykristályos szilícium -növekedési kemencékben (például a Czochralski -módszer) hőpajzsként vagy tartójaként nagy hőstabilitást használnak az egyenletes hőkezelések fenntartására és a rácshibák csökkentésére.

● Szűrés és tisztítás

A porózus szerkezet elvonhatja a részecskék szennyeződéseit, és ultra-tiszta gáz/folyadékszállítási rendszerekben használják a folyamat tisztaságának biztosítása érdekében.

Előnyök a hagyományos anyagokhoz képest