CVD SIC bevonóvédő

A termék pozicionálása és az alapfunkciók ：

A CVD SIC bevonóvédő az LPE szilícium -karbid -epitaxiális berendezések kulcsfontosságú eleme, elsősorban a reakció kamra belső szerkezetének védelmére és a folyamat stabilitásának javítására. Alapvető funkciói a következők:

Korrózióvédelem: A kémiai gőzlerakódás (CVD) által képződött szilícium -karbid bevonat ellen képes ellenállni a klór/fluor plazma kémiai korróziójának, és olyan durva környezethez alkalmas, mint például maratási berendezések;

Hőgazdálkodás: A szilícium -karbid anyag nagy hővezetőképessége optimalizálhatja a reakció kamra hőmérsékleti egységességét és javíthatja az epitaxiális réteg minőségét;

A szennyezés csökkentése: Béléskomponensként megakadályozhatja a reakció melléktermékeinek közvetlenül a kamrával való érintkezését és a berendezés karbantartási ciklusának meghosszabbítását.

Műszaki jellemzők és tervezés ：

Szerkezeti tervezés:

Általában a felső és az alsó félhold részeire osztva, szimmetrikusan a tálca körül telepítve, hogy gyűrű alakú védőszerkezetet képezzenek;

Együttműködés az olyan alkatrészekkel, mint például a tálcák és a gázzuhanyfejek, hogy optimalizálják a légáramlás eloszlását és a plazmaközpontú hatásokat.

Bevonási folyamat:

A CVD módszert használják a nagy tisztaságú SIC bevonatok letétbe helyezésére, a film vastagságának egységességével ± 5% -on és a Ra≤0,5 μm-es felületi érdességgel;

A tipikus bevonat vastagsága 100-300 μm, és képes ellenállni a magas hőmérsékleti környezetnek, 1600 ℃.

Alkalmazási forgatókönyvek és teljesítmény -előnyök ：

Alkalmazható berendezés:

Elsősorban az LPE 6 hüvelykes, 8 hüvelykes szilícium-karbid-epitaxiális kemencéjéhez használják, amely támogatja a SIC homoepitaxiális növekedését;

Alkotevő berendezésekhez, MOCVD berendezésekhez és egyéb forgatókönyvekhez, amelyek nagy korrózióállóságot igényelnek.

Főbb mutatók:

Termikus tágulási együttható: 4,5 × 10⁻⁶/k (a grafit szubsztráttal való megfelelés a termikus feszültség csökkentése érdekében);

Ellenállás: 0,1-10Ω · cm (megfelel a vezetőképességi követelményeknek);

Élet élettartama: 3-5-szer hosszabb, mint a hagyományos kvarc/szilícium anyagok.

Műszaki akadályok és kihívások

Ennek a terméknek meg kell küzdenie a folyamat nehézségeinek, például a bevonat egységességének ellenőrzését (például a él vastagságának kompenzációját) és a szubsztrát-bevonó interfész kötés optimalizálását (≥30 mPa), és ugyanakkor meg kell felelnie az LPE berendezés nagysebességű forgásának (1000 fordulat / perc) és hőmérsékleti gradiens igényeinek.