7N nagy tisztaságú CVD SiC alapanyag

1. Alapvető teljesítménytényezők

• 7N fokozatú tisztaság: Folyamatos 99,99999%-os (7N) tisztaságot tartunk fenn, a fémes szennyeződéseket ppb szinten tartva. Ez elengedhetetlen a nagy ellenállású félszigetelő (HPSI) kristályok termesztéséhez, valamint a szennyeződésmentes áramellátáshoz vagy rádiófrekvenciás alkalmazásokhoz.
• Szerkezeti stabilitás vs. C-Dust: Ellentétben a hagyományos porokkal, amelyek hajlamosak összeesni vagy finom részecskéket kibocsátani a szublimáció során, a nagy szemcséjű CVD tömegünk szerkezetileg stabil marad. Ez megakadályozza a szénpor (C-por) bevándorlását a növekedési zónába – ez a kristályzárványok és a mikrocsövek hibáinak fő oka.
• Optimalizált növekedési kinetika: Ipari méretű gyártáshoz tervezték, ez a forrás akár 1,46 mm/h növekedési sebességet is támogat. Ez 2-3-szoros javulást jelent a hagyományos poralapú módszerekkel általában elért 0,3–0,8 mm/h-hoz képest.
• Thermal Gradient Management: Blokkoink nagy térfogatsűrűsége és fajlagos geometriája agresszívabb hőmérsékleti gradienst hoz létre a tégelyen belül. Ez elősegíti a szilícium- és széngőzök kiegyensúlyozott felszabadulását, enyhítve a "Si-ben gazdag korai / C-dús késői" ingadozásokat, amelyek sújtják a szokásos folyamatokat.
• Crucible Loading Optimization: Anyagunk 2 kg+ terhelésnövelést tesz lehetővé 8 hüvelykes tégelyeknél a poros módszerekhez képest. Ez lehetővé teszi a hosszabb tömbök növekedését ciklusonként, közvetlenül 100%-ra növelve a gyártás utáni hozamot.

1. Műszaki előírások

Összehasonlítás: Traditional Powder vs. VETEK CVD Bulk