Termékek
Ostyahordozó tálca
  • Ostyahordozó tálcaOstyahordozó tálca

Ostyahordozó tálca

A Vetek Semiconductor arra specializálódott, hogy partnereikkel együttműködve készítsen egyedi terveket a Wafer Carrier Tray számára. A Wafer Carrier tálca CVD szilícium epitaxiához, III-V epitaxiához és III-nitrid epitaxiához, szilícium-karbid epitaxiához tervezhető. Kérjük, forduljon a Vetek félvezetőhöz a szuszceptor igényeivel kapcsolatban.

Biztos lehet benne, hogy az ostya hordozótálcát vásárolja gyárunkból.

A Vetek Semiconductor elsősorban a CVD SIC bevonó grafit alkatrészeket biztosítja, mint például az ostyahordozó tálca a harmadik generációs félvezető SIC-CVD berendezések számára, és elkötelezett az ipar számára fejlett és versenyképes gyártóberendezések biztosítására. A SIC-CVD berendezést a szilícium-karbid-szubsztráton lévő homogén, egykristályos vékony film epitaxiális rétegének növekedésére használják, a SIC epitaxiális lapot elsősorban az energiatartalmú eszközök, például a Schottky Diode, az IGBT, a MOSFET és más elektronikus eszközök gyártására használják.

A berendezés szorosan ötvözi a folyamatot és a berendezést. A SiC-CVD berendezés nyilvánvaló előnyei a nagy gyártási kapacitás, a 6/8 hüvelykes kompatibilitás, a versenyképes költségek, a folyamatos automatikus növekedésszabályozás több kemencéhez, az alacsony hibaarány, a karbantartási kényelem és a megbízhatóság a hőmérsékletmező-szabályozás és az áramlási mező szabályozása révén. A Vetek Semiconductor által biztosított SiC bevonatú ostyahordozó tálcával kombinálva javíthatja a berendezés gyártási hatékonyságát, meghosszabbíthatja az élettartamot és szabályozhatja a költségeket.

A Vetek Semiconductor ostya hordozó tálcájának főként magas tisztaságú, jó grafitstabilitása, nagy feldolgozási pontossága, valamint CVD SIC bevonat, magas hőmérsékletű stabilitás: A szilícium-karbid bevonatok kiválóan magas hőmérsékleti stabilitást mutatnak, és megvédik a szubsztrátot a hő- és kémiai korrózióval szemben rendkívül magas hőmérsékleten -

Keménység és kopásállóság: A szilícium-karbid bevonatok általában nagy keménységgel bírnak, kiváló kopásállóságot biztosítva és meghosszabbítva a szubsztrát élettartamát.

Korrózióállóság: A szilícium-karbid bevonat korrózióálló számos vegyszerrel szemben, és megvédheti az aljzatot a korróziós károktól.

Csökkentett súrlódási tényező: a szilícium-karbid bevonatok általában alacsony súrlódási tényezővel rendelkeznek, ami csökkentheti a súrlódási veszteségeket és javíthatja az alkatrészek működési hatékonyságát.

Hővezető képesség: A szilícium -karbid bevonat általában jó hővezetőképességgel rendelkezik, ami elősegítheti a szubsztrátot, hogy jobban szétszórja a hőt, és javíthatja az alkatrészek hőeloszlási hatását.

Általánosságban elmondható, hogy a CVD szilícium -karbid bevonat többszörös védelmet nyújthat a szubsztrát számára, meghosszabbíthatja szolgáltatási élettartamát és javíthatja teljesítményét.


A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan Tipikus érték
Kristályszerkezet FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség 3,21 g/cm³
Keménység 2500 VICKERS keménység (500G terhelés bel
Szemcseméret 2 ~ 10 mm
Kémiai tisztaság 99,99995%
Hőkapacitás 640 J · kg-1· K-1
Szublimációs hőmérséklet 2700 ℃
Hajlító szilárdság 415 MPa RT 4 pontos
Young modulusa 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezető képesség 300w · m-1· K-1
Hőtágulás (CTE) 4,5×10-6K-1


Produkciós üzletek:

VeTek Semiconductor Production Shop


A félvezető chip -epitaxy ipari lánc áttekintése:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Ostya hordozó tálca
Kérdés küldése
Elérhetőségei
Ha kérdése van a szilícium-karbid bevonattal, a tantál-karbid bevonattal, a speciális grafittal vagy az árlistával kapcsolatban, kérjük, hagyja nekünk e-mail-címét, és 24 órán belül felvesszük Önnel a kapcsolatot.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept