TAC bevonatú grafit támogatás

Üdvözöljük Önt, hogy eljöjjön a Factory Vetek Semiconductorhoz, hogy megvásárolja a legújabb eladási, alacsony árat és a kiváló minőségű TAC-bevonatú grafit-érzést. Bízunk benne, hogy együttműködhetünk veled.

A tantál-karbid kerámia anyag olvadáspontja 3880 ℃-ig, magas olvadáspontja és jó kémiai stabilitása a vegyületnek, magas hőmérsékletű környezete továbbra is stabil teljesítményt tud fenntartani, emellett magas hőmérséklet-állósággal, kémiai korrózióállósággal, jó vegyszerrel is rendelkezik. és mechanikai kompatibilitása szén anyagokkal és egyéb jellemzőkkel, így ideális grafit szubsztrát védő bevonóanyag. A tantál-karbid bevonat hatékonyan védi a grafit alkatrészeket a forró ammónia, a hidrogén és a szilíciumgőz, valamint az olvadt fém hatásától a kemény használati környezetben, jelentősen meghosszabbítja a grafit alkatrészek élettartamát, és gátolja a szennyeződések vándorlását a grafitban, biztosítja az epitaxia és a kristálynövekedés minőségét. Főleg nedves kerámia eljárásokban használják.

A kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) a legérettebb és legoptimálisabb előkészítési módszer a tantál-karbid bevonathoz a grafit felületén.

CVD TaC bevonási módszer TaC bevonatú grafit szuszceptorhoz:

A bevonási eljárás a TACL5 -et és a propilént szénforrásként, illetve tantalum -forrásként, az Argont hordozógázként használja a tantalum -pentaklorid gőzt a reakciókamrába a magas hőmérsékletű gázosítás után. A célhőmérséklet és nyomás alatt a prekurzor anyag gőzzését a grafit rész felületén adszorbeálják, és olyan komplex kémiai reakciók sorozata, mint például a bomlás és a szénforrás és a tantalum forrás kombinációja. Ugyanakkor a felszíni reakciók sorozata, például a prekurzor diffúziója és a melléktermékek deszorpciója is részt vesz. Végül egy sűrű védőréteg alakul ki a grafit rész felületén, amely megvédi a grafit részt a szélsőséges környezeti körülmények között stabilitól. A grafit anyagok alkalmazási forgatókönyvei jelentősen kibővülnek.

A TaC bevonatú grafit szuszceptor termékparaméterei:

Produkciós üzletek:

A félvezető chip -epitaxy ipari lánc áttekintése: