Hír

Ismerje meg, hogyan szüntette meg a Vetek a radiális repedéseket a nagyméretű MOCVD SiC bevonatú grafit szuszceptorokban. A szerkezeti feszültségpuffer újratervezése és a CTE illesztése 300%-kal+ növelte az élettartamot.

A SiC evolúció egy évtizede – a korai 4 hüvelykes kereskedelmi kihívásoktól a mai 8 hüvelykes lapkák átállásáig. Fedezze fel, hogy a CVD SiC bevonatok, a szilárd SiC és a TaC anyagok hogyan teszik lehetővé a megbízható félvezetőgyártást.

Ismerje meg, hogyan javítják a CVD SiC bevonatú grafit szuszceptorok az epitaxiális növekedést azáltal, hogy javítják a termikus egyenletességet, csökkentik a szennyeződést és meghosszabbítják az alkatrészek élettartamát a SiC, GaN, LED és szilícium félvezető gyártás során.