Hír

Ismerje meg, hogyan javítják a VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) bevonatú grafitgyűrűk a hőstabilitást, csökkentik a szennyeződést és hosszabbítják meg az alkatrészek élettartamát a SiC kristálynövekedési, epitaxiás, CVD- és magas hőmérsékletű félvezető eljárásokban.

Fedezze fel, hogy a CVD TaC bevonat hogyan javítja a SiC kristálynövekedést és a félvezetőgyártást rendkívül magas hőstabilitás, korrózióállóság, szennyeződés-elnyomás és kiváló teljesítmény mellett a MOCVD és epitaxy alkalmazásokban.

Vessen egy pillantást a kulcsfontosságú Aixtron G10 komponensekre a magas hőmérsékletű SiC epitaxiarendszerekhez. Kitérünk a CVD SiC bevonatú grafit alkatrészekre, a TaC bevonat komponensekre és a termikus térszerkezetekre – és arra, hogy ezek hogyan segítik a folyamatstabilitást, a tisztaság szabályozását és a lapkahozamot a fejlett félvezetőgyártásban.